張家口hepa高效過濾器

其實很多人對於高效過濾器的了解還是（shì）停留在表麵上的，

比如隻知道（dào）潔淨室要安裝初效G4+中效F5+中高效F9+末端的高效H14，但是對於高效過濾（lǜ）器的一（yī）些特性還是不太了解的！

比如效率為針對0.3um的粒子其濃度不低於99.97%為美國的A級別高效過濾器（qì）,這句話的詳（xiáng）細意思其實並沒有多少人思（sī）考！

比如MPPS方法介紹的H14或者U15過濾器（qì）的測試粒子的（de）尺寸是什麽？

下麵的內容則（zé）是我自己以前整理的一些筆記，針對高效過濾器的（de）一些詳細介紹。

不太懂的就看黑體字就可以了！！！！

1.從HEPA高效過濾器效率說起（qǐ）

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器

最早（zǎo）的HEPA 的使用來源於美國軍方, 為MIT相關標準。其後歐洲持（chí）續優化自身規範和標準

目前國（guó）家上通行的（de）是（shì）IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中（zhōng）國國內大部分項目緊跟的是EN1822標準。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆粒的整體效率不低於99.97%為（wéi）高效;EN1882規定隻要在MPPS的氣溶膠下通過率大於99.95%的就可以,也就是H13以上;
EN1822
從圖中可以看到如下信息:EN1882對於局（jú）部（bù）穿透率可以是整體的5倍這當然是在MPPS 的（de）粒徑考慮之（zhī）下;
IEST描述
針對以上的兩張表（biǎo）格,分析如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是粒子質（zhì）量中徑,也就是所（suǒ）有的（de）氣溶膠粒徑分布當中50%的質量大於這個值,50%的質量小於這個值.

因此不要認為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或（huò）者@0.3um>=99.99%僅僅（jǐn）是針對0.3um的要求.其實這個規定要求的是質量中徑在（zài）0.3um的氣溶膠（jiāo）群,也就是氣（qì）溶膠是單（dān）分散相或（huò）者多分散相的,是一個範圍內的氣溶膠群體,而絕不是單一粒徑的0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺寸中徑,也就是有50%的粒子大於（yú）這個（gè）值.50%的粒子小於這個值。MMD=0.3um的顆粒（lì）們（men）其實它們的CMD大約在0.2um.這是因為大顆粒的（de）粒子占有的數量權（quán）重雖然小,但是質量權（quán）重很大。因此在IEST上麵說99.97%@0.3um其實大致等同於EN1882的MPPS的顆粒（lì）直徑（jìng）.這裏也僅僅（jǐn）是類似，不能完全等同。

3).新版（bǎn）的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均作為HEPA的分類劃入高效係列,不同於以前的（de）EN1822-2000;

4).MPPS到（dào）底是多少,是需要對某一種濾料,比如某一種玻璃纖維做實驗室測試的。需要至少做5次重複試（shì）驗（yàn）。每次試驗均要發單[準]分散相或（huò）者多分散相的粒子,布滿整體的0.1-0.5um的區間。最後用曲線做出來（lái）最低點。根據現在EN1822的統計,絕大部（bù）分（fèn）的最易（yì）穿透的粒子粒徑在0.1um-0.25um之間的某一個值。從商業角度而言,氣溶膠發（fā）生器或者LASKIN噴嘴噴出的氣溶膠粒徑不（bú）可能保（bǎo）證為唯一粒徑粒（lì）子,從（cóng）標準差而（ér）言.σ1.5為多分散。需要注（zhù）意的是這個標準差和粒徑大小沒有直接（jiē）關係，也就是（shì）計算結果和粒徑沒有關係.因此嫩草影院可以認為MPPS的粒（lì）徑（jìng）大小（xiǎo）在測試的時候不是針對某一個粒徑的（de）而是針對一個區（qū）間的。這個也就是為什麽（me）MPPS在實際現場測試的時候要求測試一個區間範圍內的所有粒子（zǐ）數量總和;同（tóng）時也要說明的是不同的過濾風速下MPPS是不同的。出廠前需要明確額定濾速是多少.

5).對於實際的MPPS測（cè）試,一般要求收（shōu）集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之（zhī）內的所有粒子總（zǒng）數。這裏所隱含的條件是（shì）氣溶膠的發塵應該正好落在這個範圍之內,而且粒徑的中值CMD應該正好等於MPPS[理想化],EN1822規定偏差不能超過10%;

2.氣（qì）溶膠（jiāo）發生器

氣溶膠發生器可以分為若幹種,如熱發塵和冷發塵,異凝（níng）結發（fā）塵和同凝結發塵,在DPMS的幫助下可以保證有單分散相粒徑（jìng）發出。

壓縮空氣多分散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣（qì）多分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生（shēng）器 單分散相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分散相異凝結 1.05

自由噴射凝結式氣溶膠發生器 準單分散相自凝結 σ=1.5

氣溶膠發塵+DPMS 多分散電移過濾（lǜ）為單分散相 σ=1.1不穩（wěn）定

從美國的IEST可（kě）以看出他們使用（yòng）的是（shì）第一種（zhǒng）和第二（èr）種,用光度儀測試質量濃度比;而歐（ōu）盟采（cǎi）用後麵四種進行測試，更加合理（lǐ）優越。不過問題在於MPPS不可能直接測量一個粒徑值。其實是一（yī）個範圍。很多工廠直接把0.1-0.2um之間的粒子數量全部加起（qǐ）來作為MPPS的數量考慮應該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的。

根據EN1822-5的說法,如果是采用單（dān）分散相粒子在測（cè）試效（xiào）率的時候（hòu）是不計量（liàng）粒（lì）子（zǐ）分徑的。直接把所有的粒子數量加在一起就可以作為上下遊分別的粒子計數了。但是這裏要注（zhù）意的是單分散（sàn）相也不是真正的單分散相還是有各種粒徑分布（bù）的（de）。隻要標準差小於1.5就可以這麽認為了。

對於多（duō）分散相就不是這麽回事了。因為標（biāo）準差（chà）大於1.5，因此（cǐ）在進行測試的時候要求同（tóng）時測粒子粒（lì）徑分布和數（shù）量。需要注意的是在上下遊收集的時（shí）候,在MPPS已經知（zhī）道的（de）情況下,隻（zhī）需要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵（miàn）的全部或者部分粒子數量（liàng）即可。

舉例來說明:現在EN已經發（fā）現MPPS粒子一般坐落於0.1um-0.25um之間。這個範圍的（de）最大值與最小值之比為2.5.因此在EN1822-5的要求下,最好取MPPS/2-MPPS*2的全部（bù）範圍或（huò）者部分。這是因為實際的光學粒子計數器（qì）有一個測量精度問題（tí）。大家知道的一（yī）般（bān）是（shì）測量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實際的結果是大部分廠家（jiā）或者測試方最終的計數（shù）結果0.1um-0.2um之間的總數作為計量（liàng）基礎。

根據EN1822要求,最（zuì）好的測量範圍（wéi）在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是規範也可以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或者在mpps*1.5-mpps*2的分段上任選（xuǎn）一組作為劑量範圍.因此實（shí）際的測試可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種情況下進行計量。

考慮到實際的光學粒子分（fèn）析儀,應該可以在其（qí）中三個分段裏麵任選一個（gè）並（bìng）且選擇全部的粒子或者（zhě）部分的粒子。到底怎麽（me）選根據實際的粒子分析儀來。實際的工程結果是選擇0.1-0.2um之間的。因為大部分MPPS在0.18um的樣子,因此采用第二種分段發可以（yǐ）在0.09um-0.27um之間選擇部分也就是0.1um-0.2um之間的值作為劑量標準。

以（yǐ）上是對多分散粒子測試時候的分析與說明。

3:接收方法

一（yī）般有兩種方法。

一種是用於測定質量濃度的光度計,它（tā）不能計數（shù）。因此可以用在DOP方法測試（shì）H13和H14上麵特別是在現場的時候；

另外一種（zhǒng）是用粒子計數（shù）器或（huò）者粒徑分析計數器,它既可（kě）以測粒徑也可以測（cè）數（shù）量。不（bú）過需要說明的是不能認為它什麽粒徑都能測,它一般隻能分段測（cè）粒徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家想象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣（yàng）的粒徑也能（néng）分析的（de）一清二楚. 因此（cǐ）實際的（de）接（jiē）收粒子MPPS是在一段粒徑之間（jiān）的。上麵已經說過了。

這是因為EN1822-3對於濾料測試的最低MPPS的點是曲線找出來的,而不是實（shí）際測出來的。規定要求測至少六種不同的粒徑（jìng）,通（tōng）過畫曲線的方法找到（dào）最低點MPPS。這種方法隻能用單分（fèn）散相的粒子發（fā）生器來測試。因此其實找到的不是單一粒徑,而是一個區間;

並且在EN1822-4和EN1822-5裏麵（miàn）已（yǐ）經要求（qiú）了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑,所以這更加說明了是粒子分析隻能測試出某一段粒徑之間而絕不是細到（dào）每一粒徑的;

4. IEST的測試方法

對（duì）於H13和H14,IEST要求對於其（qí）測（cè）試質量濃度（dù）就（jiù）可以了,而對於高要求的U15以（yǐ）上要（yào）求用（yòng）粒子計數器,並且直接讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩（liǎng）組中的更加不（bú）利的那一個數據.但是並不需要先檢測出MPPS值。

對於現場中的DOP檢測（cè）,很多公（gōng）司使用TFI的冷發塵,由於其屬於多分散相，因此其實導致的結果就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大於0.3um的要求了。因此要（yào）求現場的測試質量濃度比為（wéi）99.99%@H13H14是合理的.因為這裏的結果已經比0.3um為99.99%在實驗室要求低了。

對於大部分的項目而言,還是使用H14以上的高效比較保險。

5. EN1822測試方法

對於H10以上的就需要測試MPPS了,對於測試方法上麵已經（jīng）有說（shuō）明,總體而言就是測包含MPPS的一（yī）段區間粒徑的數量;

6:對測試結果（guǒ）的分析

由於現場測試（shì）的隻（zhī）能是樣本,而且不可能全部都測.因此實際的結果分析采用了泊鬆分布的（de）95%置信區間的結果。

參考資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料（liào）當中提到了統計學相關知（zhī）識,包括泊鬆分布/95%置（zhì）信區間/標準差/幾何標準差