營口hepa高效過濾器

其實很多人對於高效過濾（lǜ）器的了解還是停留在表麵上的，

比如隻知（zhī）道（dào）潔（jié）淨室要安裝（zhuāng）初效G4+中效F5+中高效F9+末端的高效H14，但是（shì）對於高效過濾器的一些特性還是不太（tài）了解的！

比如（rú）效率為針對0.3um的粒子其濃度不低於99.97%為美國的A級別高效過濾器,這句話的詳細意思其實並（bìng）沒有多少人思考（kǎo）！

比（bǐ）如MPPS方法介紹的H14或者U15過濾器的測試粒子的尺寸是（shì）什麽（me）？

下麵的內容則是我自己以（yǐ）前整理的一些筆（bǐ）記，針對高效過濾器的一些詳細介（jiè）紹。

不太懂的就看黑體（tǐ）字就可以了！！！！

1.從HEPA高效過濾器效率說起（qǐ）

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器

最早的HEPA 的使用來源於美國軍方, 為MIT相關標準。其後（hòu）歐（ōu）洲持續優化自身規範和（hé）標準

目前國家上通行的（de）是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中國國內大部（bù）分（fèn）項目緊跟的是（shì）EN1822標準。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆粒的（de）整體效率不低於99.97%為高效;EN1882規定（dìng）隻要在MPPS的氣溶膠下通（tōng）過率大於99.95%的就可（kě）以,也就是H13以上;
EN1822
從圖中可以看到如下（xià）信息:EN1882對於局部穿透率可以是整體（tǐ）的5倍這當然是在MPPS 的粒徑考慮之下;
IEST描述
針對以上的兩張（zhāng）表格,分析如（rú）下（xià）:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是粒子質量中徑,也就是所有的氣溶膠粒徑分布當中（zhōng）50%的質（zhì）量大於這個值,50%的質量小於這（zhè）個值.

因此不要認為（wéi）IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅是針對0.3um的要求.其實（shí）這個規定要求的（de）是（shì）質量中徑在0.3um的氣溶膠群,也就是氣溶膠是單分散相或者多（duō）分散相的,是一個範圍內的（de）氣溶膠群體,而（ér）絕不是單一粒徑的0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺寸中徑,也就是有50%的粒子大於這個值.50%的粒（lì）子小於這個值。MMD=0.3um的顆粒們其實它們的CMD大約在0.2um.這是因為大顆粒的粒子占（zhàn）有的數量權重雖然小,但是質量權（quán）重很大。因此在IEST上麵（miàn）說99.97%@0.3um其（qí）實大致等同於EN1882的MPPS的顆粒直徑.這裏也僅僅是類似，不能完全等同。

3).新版的EN1822-2009把以（yǐ）前的E10 E11 E12均作為HEPA的分類劃入高效係列,不同於以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底是多少,是需要對某一種濾料,比如（rú）某一種玻璃纖維做（zuò）實驗（yàn）室測試的。需要至少做5次（cì）重複試驗。每次試驗均要發單[準]分散相或者（zhě）多分散相的粒子,布滿整體的0.1-0.5um的區（qū）間。最後用曲線做出來最低點。根據現在EN1822的統計,絕大部分的最易（yì）穿透的粒子粒徑在0.1um-0.25um之間的某一個值。從商業角度而言,氣溶膠發生器或（huò）者LASKIN噴嘴噴（pēn）出的氣溶膠粒徑不可能保證為唯一粒徑粒子,從標準差而言.σ1.5為多分散。需要注意的是這個標（biāo）準差和粒徑大小沒有直接關係，也就是計算結果和粒徑沒有關係.因此嫩草影院可（kě）以認為MPPS的粒徑大小在測（cè）試的時（shí）候不是針對（duì）某一（yī）個粒徑的而是（shì）針對（duì）一（yī）個區間（jiān）的。這個也就是為什麽MPPS在實際現場測試（shì）的時候要求測試一個區間範圍內的所有粒子數量總和;同（tóng）時也要說明的是不同的過濾風速下MPPS是不同的。出廠（chǎng）前需要明確額定濾（lǜ）速（sù）是多少.

5).對於實際的MPPS測試,一般要求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範（fàn）圍之內的所（suǒ）有粒子總數（shù）。這裏所隱含的條件是氣溶膠的發塵（chén）應該（gāi）正好落（luò）在這個範圍之內,而（ér）且粒徑的中值（zhí）CMD應該正好等於MPPS[理想化],EN1822規定（dìng）偏差不能超過10%;

2.氣溶膠發生器

氣溶（róng）膠發生器可以分為（wéi）若幹（gàn）種,如熱發塵和冷（lěng）發塵,異凝結發塵和同凝結發塵,在DPMS的幫助下可以保證有單分散相粒徑發出。

壓縮空氣多分散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單分散相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器（qì） 單分散相（xiàng）異凝結 1.05

自由噴射凝結式氣溶膠發生器 準單分散相自凝（níng）結 σ=1.5

氣溶膠發塵+DPMS 多分散（sàn）電移（yí）過濾為單分散相 σ=1.1不穩定

從（cóng）美國的（de）IEST可以看出他們使用的是第一種和第（dì）二種,用光度儀測試質量濃（nóng）度比;而歐盟采用後麵四種進行測試（shì），更加（jiā）合理優越。不過問題在於MPPS不可能直接測量（liàng）一（yī）個粒（lì）徑值。其實是一個範（fàn）圍。很多工廠直接把0.1-0.2um之間的粒子數量全部加起來作為MPPS的數量考慮應該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的（de）。

根據EN1822-5的說法,如果是采用單分散相粒子在測試效率的（de）時候是不計量粒（lì）子分徑的。直接把所有的粒（lì）子數量加在（zài）一起就可以作為上下遊分別（bié）的（de）粒子計數了。但是這裏要注意的（de）是單分散相也不是真正的單分散相還是有各種（zhǒng）粒徑分布的。隻（zhī）要標準差小於1.5就可以這麽認（rèn）為了。

對（duì）於多分散相就不是這麽回事了（le）。因為標準差大於1.5，因此在（zài）進行測試的時候要（yào）求同時測粒子粒徑分布和數量。需要注意的是在上下遊（yóu）收集的時候,在MPPS已經知道的情況下,隻需要（yào）測量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的全部或者部分粒（lì）子數量即可。

舉例（lì）來說明:現在EN已經發現MPPS粒（lì）子一般（bān）坐落於0.1um-0.25um之間。這個（gè）範圍的最大值與最小值之比為2.5.因此在EN1822-5的要求（qiú）下,最（zuì）好取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍（wéi）或者部分。這是因（yīn）為實際的（de）光學粒子計數器有一個測量（liàng）精度問題。大家知道的（de）一般是測量分段（duàn）為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實際的結果是大部分廠家或者測（cè）試方最（zuì）終的計數結（jié）果0.1um-0.2um之間的總（zǒng）數作（zuò）為（wéi）計量基礎。

根據EN1822要求,最好的測量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間（jiān）。但是規範也可（kě）以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或者在mpps*1.5-mpps*2的分段上任選一組作為（wéi）劑（jì）量範圍.因此實際（jì）的測試可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種情況下進行計量。

考慮到實際的光學粒子分析儀,應該可以在其中三個分段裏麵任選一個並且選擇全部的粒子或者（zhě）部分的粒子。到底怎麽選根據實際的粒子分析儀來。實際（jì）的工（gōng）程結（jié）果是選擇0.1-0.2um之間的。因為大部分（fèn）MPPS在0.18um的（de）樣子,因（yīn）此采用第二種分（fèn）段發可以在0.09um-0.27um之間選擇部分也就是0.1um-0.2um之間的（de）值作（zuò）為劑量標準。

以上是對多分散粒子測試時候的分析與說（shuō）明。

3:接收方法

一般有兩種方法。

一種是用於測定質量濃度的（de）光度計,它不能計數。因此可以（yǐ）用在DOP方法測試H13和H14上麵特別是在現場的時候；

另外一種是用粒子（zǐ）計數器或者粒徑分析計數器,它（tā）既（jì）可以測粒徑也可以測數量。不過需要說明的是（shì）不能認為它（tā）什麽粒徑都（dōu）能測（cè）,它一般隻能分段測粒徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家想象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣（yàng）的粒徑也能分（fèn）析的一清二楚. 因此實際（jì）的接收粒子MPPS是在一段粒徑之間的。上麵已經說過了（le）。

這是因為（wéi）EN1822-3對於濾料測試的最低MPPS的點是曲線找出來的（de）,而（ér）不是實際測出來的。規定要求測至少六種不同的粒徑,通過畫曲線的方法找（zhǎo）到最低點MPPS。這種（zhǒng）方法隻能用（yòng）單分散相的粒子發生器來測試。因此其實找到的不是單一粒徑,而是一（yī）個區間;

並且（qiě）在EN1822-4和EN1822-5裏麵已（yǐ）經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑,所以這更加說明了（le）是粒子（zǐ）分（fèn）析隻能測（cè）試出某一段粒徑之間而絕不是（shì）細到（dào）每一粒徑的（de）;

4. IEST的（de）測（cè）試方法

對於H13和H14,IEST要求對於其測（cè）試質量（liàng）濃度就可以了,而對於高要求的U15以上要求用粒（lì）子計數器,並且（qiě）直（zhí）接（jiē）讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中的更（gèng）加不利的那一個數據.但是並不需要先檢測出MPPS值。

對於現場（chǎng）中的DOP檢測,很多公司使用TFI的冷發塵,由於（yú）其屬於多分散相，因此其實導致的結果就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大（dà）於0.3um的要求了。因此要求現場的測試質量濃度比為99.99%@H13H14是合理的.因為這裏的結果已經比0.3um為99.99%在實驗室要求低了（le）。

對於大部分的項目而言,還是使用H14以上的高效比較保（bǎo）險。

5. EN1822測試方法

對於H10以上的（de）就需要測試MPPS了,對於測試方法上麵已經有說明,總體而言就是測包含MPPS的一段區間粒徑的數量;

6:對測試結果的分析

由於現場測試的隻能是樣本,而且不可能全部都測.因此實際的結果（guǒ）分析采用了泊鬆分布的95%置（zhì）信區間的結果（guǒ）。

參考資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料當中提到了統計學相關知識,包括泊鬆分布/95%置信區間/標準差/幾何標準差