銀川hepa高效過濾器

其實很多人對於高效（xiào）過濾器的了解（jiě）還是停留在表麵上（shàng）的，

比如隻知道潔淨室要安裝初（chū）效G4+中效F5+中高（gāo）效F9+末端的高效H14，但是對於（yú）高效過濾器的一些特性還是不太（tài）了（le）解的（de）！

比如效率為針對0.3um的（de）粒子其濃度不低於99.97%為（wéi）美國的A級別（bié）高效過濾器,這句話（huà）的詳細意思其實並沒有多少（shǎo）人（rén）思考！

比如MPPS方法介紹的H14或者U15過濾器的測試粒子的尺寸（cùn）是什麽？

下麵的內容則是我自己以前整理的一些筆記，針對高效過濾器的一些詳細（xì）介紹（shào）。

不太懂的就看黑體字就（jiù）可以了！！！！

1.從HEPA高效過濾器效率說起

HEPA—high efficiency particulate air為高（gāo）效過濾器

最早的HEPA 的使用來源於美國軍方, 為MIT相關（guān）標準。其後歐洲持續優化自身（shēn）規範和標準

目前國家上通行（háng）的（de）是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中國國內大部分項目緊跟的是EN1822標準。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆粒的（de）整體效率不低於99.97%為高效;EN1882規定隻要在MPPS的氣溶膠下通過率大於99.95%的就可以（yǐ）,也就是（shì）H13以上;
EN1822
從圖中可以看到如下信息:EN1882對於局部穿透率可以是整體的5倍這當然是在MPPS 的粒徑考慮之下;
IEST描述
針對以上的兩張表格,分析如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是粒子質量（liàng）中徑,也（yě）就（jiù）是所有的氣溶膠粒（lì）徑分布（bù）當（dāng）中50%的質量（liàng）大於這（zhè）個值（zhí）,50%的質量小於這個值.

因此不要認為IEST的規（guī）定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅是針（zhēn）對0.3um的要求（qiú）.其實這個規定要求的是質量中徑（jìng）在0.3um的氣溶膠群,也就是氣溶膠是單分（fèn）散相或者多分（fèn）散相（xiàng）的,是（shì）一個範圍內的氣溶膠群體,而絕不是單（dān）一粒徑的0.3um的氣（qì）溶膠（jiāo）;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的（de）是粒子尺寸中徑,也就是有（yǒu）50%的粒子大於這個值（zhí）.50%的粒子小於這個值。MMD=0.3um的顆粒們其（qí）實它們的CMD大約在0.2um.這是（shì）因為大顆粒的粒子占有（yǒu）的數量權重（chóng）雖然小,但是質量權重很大。因此在（zài）IEST上麵說99.97%@0.3um其實（shí）大致等同於EN1882的MPPS的顆粒直徑.這（zhè）裏也僅僅是（shì）類似，不能完全等同。

3).新（xīn）版的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均作（zuò）為HEPA的分類劃入高效係列,不（bú）同於（yú）以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底是（shì）多少,是需要對某一種濾料,比如（rú）某一種玻璃纖維做實（shí）驗（yàn）室測試的。需要（yào）至少做5次重複試驗。每次試驗均要發單[準]分散相或者多分散相的粒子（zǐ）,布滿整體的0.1-0.5um的區間。最後（hòu）用曲線做出來最低點。根據現在EN1822的統（tǒng）計,絕大部分的最易穿透的粒子（zǐ）粒徑在0.1um-0.25um之間的某一個值。從商業（yè）角度而言,氣（qì）溶膠發生器或者LASKIN噴嘴噴（pēn）出的氣溶膠粒徑不可能保證為唯一粒徑粒子,從標準差而言.σ1.5為多（duō）分散。需要注（zhù）意的是這個標準差和粒徑大小沒有直（zhí）接關係，也就是計算結果和粒徑沒有關係.因此嫩草影院可以（yǐ）認為MPPS的粒徑（jìng）大小在測試的時候不是針對某一（yī）個粒徑的而是針對一個區間的。這個也就是為什麽MPPS在實際現場測試的時（shí）候要求測（cè）試一個區間範圍內的所有粒子數量總（zǒng）和;同時也要說明的是不同的（de）過濾風（fēng）速下MPPS是不同的。出廠前需要（yào）明確額定濾速是多少.

5).對於實際的MPPS測試,一般要求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之（zhī）內（nèi）的所有粒子總數。這裏所隱含的（de）條件是氣溶膠的發塵應該正好落在這個範圍之內,而且粒徑的中值CMD應該（gāi）正好等於MPPS[理想化],EN1822規（guī）定偏差不能超過10%;

2.氣溶（róng）膠發生器

氣溶膠（jiāo）發（fā）生器可以分為若幹種,如熱發（fā）塵和冷發（fā）塵,異凝結發塵和同凝結發塵,在DPMS的幫助下可以保證（zhèng）有單分散相粒徑發出。

壓縮空氣多分散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散（sàn）冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單分散相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分散相異（yì）凝結 1.05

自由（yóu）噴（pēn）射凝結式氣溶膠發生（shēng）器 準單分散相自凝結 σ=1.5

氣溶膠（jiāo）發塵+DPMS 多分散電（diàn）移過濾為單分（fèn）散相 σ=1.1不穩定

從美國的IEST可以看出他們使用的是第一種和第二種,用光度儀測（cè）試質量濃度比;而歐盟采用後麵四種進（jìn）行測試，更加合理優越。不過問題在於MPPS不（bú）可能直接測量一個粒徑值。其實（shí）是一個（gè）範圍。很多工廠直接把0.1-0.2um之（zhī）間的粒子數量全部加起來作為MPPS的數（shù）量考慮應該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這（zhè）個範圍的。

根據EN1822-5的說法,如果（guǒ）是采用單（dān）分散相（xiàng）粒子在測試效率的時候是不計量粒子分（fèn）徑（jìng）的。直接（jiē）把所有的粒子數量加在一起就可以作為上下遊分別的粒子計數了。但是這裏要注意的是單分散相也不是（shì）真正的單（dān）分散相還是有各種粒徑分布的。隻要標準差小於1.5就可以這麽認為了（le）。

對於多（duō）分散相就不是這麽回事了。因（yīn）為標準差（chà）大於1.5，因此在進行測試的時候要求同時測粒子粒（lì）徑分布和數量。需要注意的是（shì）在上下遊收集的時候,在MPPS已經知道的（de）情況下（xià）,隻需要（yào）測量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的（de）全部（bù）或者部分粒子（zǐ）數量即可。

舉例來說明:現在EN已經發現MPPS粒子一般坐落於0.1um-0.25um之間。這個範圍的最（zuì）大值與最小值之（zhī）比為2.5.因此在EN1822-5的（de）要求下,最好取MPPS/2-MPPS*2的（de）全（quán）部範圍或者部分。這是因為實際的光學粒子（zǐ）計數器有一個測量精度問（wèn）題。大家知道的一般是測量分段（duàn）為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等（děng）。所以實際的結果是大（dà）部分廠家或者（zhě）測試方最終的計數結（jié）果0.1um-0.2um之間的（de）總（zǒng）數作為計量基礎。

根據EN1822要求,最好（hǎo）的測量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是規範也可以要求在（zài）mpps/2-mpps/1.5之間或者在mpps*1.5-mpps*2的分段上（shàng）任選一組作為劑量範（fàn）圍.因此實際的測（cè）試可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種情況下進行（háng）計量。

考慮到實際的光學粒子分析儀,應該可以在其中三個（gè）分段裏麵任選一個（gè）並且選擇全部的粒子或者（zhě）部分的粒子。到底怎麽選根據實際的粒子分析儀來。實（shí）際的（de）工程結果是選擇0.1-0.2um之間的。因為大部分（fèn）MPPS在0.18um的樣子,因此采用第二種（zhǒng）分段（duàn）發可以在0.09um-0.27um之間選擇部分也就是0.1um-0.2um之間的值作（zuò）為劑量標（biāo）準。

以上是對多（duō）分散粒（lì）子測試時候的分析與說明。

3:接收方法

一般有兩種方法。

一（yī）種是用於測定質量濃度的光度計,它不能計數。因此可以用（yòng）在DOP方法測試H13和（hé）H14上（shàng）麵特別是在現場的時候；

另外一種（zhǒng）是用粒子計（jì）數器（qì）或（huò）者粒徑分析計數器,它既可以測粒徑也（yě）可以測數量。不過需要說（shuō）明的是不能認為它什麽粒徑都能測,它一般隻能分段測（cè）粒徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家想象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑也能分析的一清（qīng）二楚. 因此實際的接收（shōu）粒（lì）子MPPS是在一段粒徑之間的。上麵已經說過了。

這是因為EN1822-3對於濾料測試（shì）的最（zuì）低MPPS的點是曲線找出來的,而不是實際測出（chū）來的。規定要求測至少六種不同的粒徑,通（tōng）過畫曲線的方法找到最低點MPPS。這種方法隻能用單分散相的粒子發生器來測試。因此其實找到（dào）的不是（shì）單一粒徑,而（ér）是（shì）一個區間;

並且在EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間（jiān）的粒徑,所以這更加說明（míng）了是（shì）粒子分析隻能測試出某一段粒徑之間而絕不是（shì）細到每一粒徑（jìng）的;

4. IEST的測試方法

對於H13和H14,IEST要求對於其測（cè）試質量濃度就可以（yǐ）了,而對（duì）於高要求的U15以上要求用粒子計數（shù）器,並（bìng）且直接讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中（zhōng）的（de）更加不利的那一個數據.但是（shì）並不需要先（xiān）檢測出MPPS值。

對於現場中的DOP檢測,很多公司使用TFI的冷發塵,由於其屬於多分散相，因此（cǐ）其實導致的結果就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大於0.3um的要求了。因此要（yào）求現場的測試（shì）質（zhì）量濃度（dù）比為99.99%@H13H14是合理的.因為這裏的結果已經比0.3um為99.99%在實驗室要（yào）求低了。

對於大部分的項目而言,還是使用H14以上的高效比較保險。

5. EN1822測試方法

對於H10以上的就（jiù）需要測（cè）試MPPS了,對於（yú）測試方法上麵已經有說明,總體而言就是測包含MPPS的一段區間粒徑的數量;

6:對測試結果（guǒ）的分析

由於現場測試的隻能是樣（yàng）本,而且不可能全部都測.因此實際的結（jié）果分析采用了泊鬆分布的95%置信區間的結果。

參（cān）考資料（liào）

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料當中提到了統計學相關知識,包（bāo）括泊鬆分布/95%置信區間/標準差/幾何標準（zhǔn）差