伊犁hepa高效過濾器

其實很多人對於高（gāo）效過濾器的（de）了解（jiě）還是停留（liú）在表麵上的，

比如隻知道潔淨室要（yào）安裝初效G4+中（zhōng）效F5+中高（gāo）效F9+末端的高效H14，但是對於高效過濾器的一些特性還是（shì）不太了解的！

比（bǐ）如效率為針對0.3um的（de）粒子其濃度不（bú）低於99.97%為（wéi）美國的A級別高效過濾器,這句話（huà）的詳細意思其實並沒（méi）有（yǒu）多少人思考！

比如MPPS方法介紹的H14或者U15過（guò）濾（lǜ）器（qì）的測試粒子的尺寸是什麽？

下麵的內容則是我自己以前整理的一些筆記，針對高效過濾器的一些詳細介紹。

不太懂的就看黑體字就可以了！！！！

1.從（cóng）HEPA高效過濾器效率說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器

最（zuì）早的（de）HEPA 的使用來源於美國軍方, 為MIT相（xiàng）關標準。其後歐洲持續優化自身規範和（hé）標準

目前國家上通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中國國內大部分項目緊跟的是EN1822標準（zhǔn）。

IEST規定對於（yú）MMD=0.3um的顆粒的整體效率不（bú）低（dī）於99.97%為高效;EN1882規定隻要在MPPS的氣溶膠下通過率大於99.95%的就可以,也就是H13以上;
EN1822
從圖中可以看到如下信息:EN1882對於局部穿透率可以是整體的5倍這當然是在MPPS 的粒徑（jìng）考慮之下;
IEST描述
針對以上（shàng）的兩張表格,分（fèn）析如下:

1).IEST中（zhōng）的（de）MMD-Mass Median Diameter指的是粒子質量中徑,也就是所（suǒ）有的氣溶膠粒徑分布當中50%的質量大於這個值,50%的質量小於這個值.

因此不要認為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或（huò）者@0.3um>=99.99%僅僅是針對0.3um的要求（qiú）.其實這個（gè）規定要求（qiú）的是質量中徑（jìng）在0.3um的氣溶膠群,也就是氣溶膠是單分散相或者多分散相的,是（shì）一個範圍內的（de）氣溶（róng）膠群體,而絕不是單一（yī）粒徑（jìng）的0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺寸中徑,也就是有50%的粒（lì）子大於這個值.50%的粒子小於這個值。MMD=0.3um的顆（kē）粒們其實它們（men）的CMD大約在0.2um.這是因為大顆粒的粒子占有的數量權重雖然小,但是質量權重很大。因此在IEST上麵說99.97%@0.3um其實大致等（děng）同於（yú）EN1882的（de）MPPS的顆粒直（zhí）徑（jìng）.這裏也僅僅是類似，不能完全等同。

3).新版的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均作為HEPA的分類劃入高效係列,不同於以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底（dǐ）是多少,是需要對某一種濾料（liào）,比（bǐ）如某一種玻璃纖維做實驗室測試（shì）的。需要至（zhì）少做5次重複試驗。每次試驗（yàn）均要發單[準]分散相或者多（duō）分散相的粒子,布滿整體的0.1-0.5um的區（qū）間。最後用曲線做出來最低點。根（gēn）據（jù）現在EN1822的統計（jì）,絕大部（bù）分的最易（yì）穿（chuān）透（tòu）的粒子粒徑在（zài）0.1um-0.25um之間的某一個值（zhí）。從商業（yè）角（jiǎo）度而言,氣溶膠發（fā）生器或（huò）者LASKIN噴嘴噴出（chū）的氣溶膠（jiāo）粒徑（jìng）不可能保證為唯一粒徑粒子,從（cóng）標準差而（ér）言.σ1.5為（wéi）多分散。需要注意的是這個標準差和粒徑大小（xiǎo）沒有直接關（guān）係，也（yě）就（jiù）是計算結果和粒徑沒有關係.因此嫩草影院可以（yǐ）認為MPPS的粒徑大小在測試的時候不是針（zhēn）對某一個粒徑的而（ér）是針對一個（gè）區間的。這（zhè）個也就是為什麽MPPS在實際（jì）現場測試的時候要求測試一個區間範圍內的所有粒子數量總和;同時（shí）也要說明的是不（bú）同的過濾風速下MPPS是不同的。出廠前需要明確額定濾速是多少.

5).對於實際的MPPS測試（shì）,一般要求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的所有粒子總數。這裏所隱含的條件是氣溶膠的發塵應該（gāi）正好落在這個範圍之內,而且粒徑（jìng）的（de）中（zhōng）值CMD應該正好（hǎo）等於MPPS[理想化（huà）],EN1822規定偏差不（bú）能超過10%;

2.氣溶膠發生器

氣溶膠發（fā）生器（qì）可以分為若幹種,如熱發塵和冷（lěng）發塵,異凝結發塵和同凝結發塵,在DPMS的（de）幫助下可以保證有單（dān）分散相粒徑發（fā）出。

壓縮空氣（qì）多分散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣（qì）多分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單分散相異凝（níng）結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分（fèn）散相異凝結 1.05

自由噴射凝結式氣溶膠發生（shēng）器 準單分散相自凝結 σ=1.5

氣溶膠發塵+DPMS 多分散電移過濾為單（dān）分散相 σ=1.1不穩定

從（cóng）美國的IEST可以看出他們使用的是第一種和第二種,用光度儀測試質量濃度比;而歐盟采用後麵四種進行測試，更加合理優越。不過問題在（zài）於MPPS不可能直接測量一（yī）個（gè）粒徑值。其實是一個範圍。很多工廠直接把0.1-0.2um之間的粒子數量全部加起（qǐ）來（lái）作為MPPS的數量考慮應（yīng）該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的。

根據EN1822-5的說（shuō）法,如果是采用單分散相粒子（zǐ）在測（cè）試效率的時候是不計量粒子分徑的。直接把所有（yǒu）的粒（lì）子數量加在一（yī）起就可以（yǐ）作為上下遊分別的粒子計數了。但是這（zhè）裏要注（zhù）意的是單（dān）分散相也不是真正的（de）單分散相還是有各種粒徑分布的。隻要標準差小於1.5就可以這麽認為了。

對（duì）於（yú）多分（fèn）散相就不是（shì）這麽回事了。因（yīn）為標準差大於1.5，因此在進行測試的時候（hòu）要求同時測（cè）粒子粒徑（jìng）分布（bù）和數量。需要注意的是在上下遊收集的時候（hòu）,在MPPS已經知道的情況下,隻（zhī）需要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的全部或者部分（fèn）粒子（zǐ）數量即可。

舉例來說明:現在（zài）EN已經發現MPPS粒子一般坐落於0.1um-0.25um之間。這個範圍（wéi）的最大值與最小值（zhí）之比為2.5.因此在EN1822-5的要求下（xià）,最好取（qǔ）MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或者部分（fèn）。這是因為實際的光學粒子計數器有一個測量精度（dù）問題。大家知（zhī）道的一般是測量（liàng）分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實（shí）際的結果是大部分廠家或者測試方最終的計數結果0.1um-0.2um之間的總數作為計量基礎（chǔ）。

根據EN1822要求,最（zuì）好（hǎo）的測量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是規範也（yě）可（kě）以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或者在mpps*1.5-mpps*2的分段上（shàng）任選一組作為劑（jì）量範（fàn）圍.因此實際的測試可以（yǐ）在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三（sān）種情（qíng）況下進行計量。

考慮到實際的光學粒（lì）子分析儀,應該可以在其中三個分段裏麵任選一個並且選擇（zé）全部的粒子或者部分的粒子。到底怎麽選根據實際的粒子分（fèn）析儀來（lái）。實際的（de）工程結果是選擇0.1-0.2um之間的。因為大部分MPPS在0.18um的樣子,因此（cǐ）采用第（dì）二種（zhǒng）分段發可以在0.09um-0.27um之間選擇部分也（yě）就是0.1um-0.2um之間的值作（zuò）為（wéi）劑量標準。

以（yǐ）上是對多分散粒子測試時候的分析與說明。

3:接收方法（fǎ）

一般有兩種方法。

一種（zhǒng）是用於測定質量（liàng）濃（nóng）度（dù）的光度（dù）計,它不能計數。因此可以用在DOP方法測試H13和H14上麵特（tè）別是（shì）在現（xiàn）場的時候；

另外（wài）一（yī）種是用粒子計數器或者粒徑分析計數器（qì）,它既可以測粒（lì）徑也可以測（cè）數量。不過需要說明的是不能認（rèn）為它什麽粒徑都能測,它一般（bān）隻能分段測粒徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家想象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑也能分析的一（yī）清二楚. 因（yīn）此實際的接收粒子MPPS是在一段粒徑之間（jiān）的。上麵已經說過了。

這是因為EN1822-3對於濾料測試的最低MPPS的點是曲線找出來的,而（ér）不是實際測（cè）出來的。規定要求（qiú）測至少六種不同的粒徑,通過畫曲線的方法找到最低（dī）點MPPS。這種方法隻能用（yòng）單分散相的粒子發生（shēng）器來測試。因此其實找到的不是單一粒徑,而是一個區間;

並且（qiě）在EN1822-4和EN1822-5裏麵（miàn）已經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑,所以這更加說明了是粒子分（fèn）析隻能測試出某一段粒徑之間而絕（jué）不是細到每一粒徑的;

4. IEST的測試方法

對於H13和H14,IEST要求對於其測（cè）試質量濃（nóng）度就可以了,而對於高要求的U15以上要求用粒子計數器（qì）,並且直接讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中的更加不利的那（nà）一個數據.但是並不需要先檢測出MPPS值（zhí）。

對於現場中的DOP檢測（cè）,很多（duō）公司使用TFI的冷發塵,由於其屬於多分散相，因此其實導致的結果就是（shì）CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大於0.3um的要求了。因（yīn）此要求現場的（de）測試質（zhì）量濃度比為99.99%@H13H14是合理的.因為這裏的結果已（yǐ）經比0.3um為99.99%在實驗（yàn）室要求低了。

對於大部分的項目而言,還是使用H14以上的高效比較（jiào）保險。

5. EN1822測試方法

對於H10以上的就需要（yào）測試（shì）MPPS了,對於測試方法上麵已經有說明,總體而言就是測包含MPPS的一段區（qū）間粒徑的數量;

6:對測試結果的分析

由於（yú）現場測試的隻能是（shì）樣本,而且不可能全部都測（cè）.因此實際的結果分析采用了泊鬆分布的95%置信區間的結果。

參考資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料（liào）當中（zhōng）提到了統計學相關知識,包括泊鬆分布（bù）/95%置信區間/標準差/幾何標準差