新鄉hepa高效過濾（lǜ）器（qì）

其實很多人對於高（gāo）效過濾器的了解還（hái）是停留在表麵上的，

比如隻（zhī）知道潔淨室要安裝（zhuāng）初（chū）效G4+中效F5+中高效F9+末端的高效H14，但是對於高（gāo）效過濾器的一（yī）些特性（xìng）還是不太了解的！

比如效率為針對0.3um的粒子其濃（nóng）度（dù）不低（dī）於99.97%為美國的A級別（bié）高效（xiào）過濾器,這句話的詳細意思其實（shí）並沒有（yǒu）多少人思考（kǎo）！

比如（rú）MPPS方法介紹的H14或者U15過濾（lǜ）器的測試粒子的尺寸是（shì）什麽？

下麵（miàn）的內容則是我自（zì）己以前整理的一些筆記，針對高效過濾器的一些詳細介紹。

不太懂的就（jiù）看黑體字就可以了！！！！

1.從HEPA高效過濾（lǜ）器效率說起（qǐ）

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器

最早的HEPA 的（de）使用來源於美國軍方, 為MIT相關標準。其後歐洲持續優（yōu）化自身規範（fàn）和標準

目前國家上通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中國國內大部分項目緊跟的是EN1822標準。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆粒的整體效率不低於99.97%為高效;EN1882規定隻要（yào）在MPPS的氣溶膠下通過率大於99.95%的就可以,也就是H13以上;
EN1822
從圖中可（kě）以看到如下信息:EN1882對於局部穿（chuān）透率（lǜ）可以是（shì）整體的5倍這（zhè）當然（rán）是在MPPS 的粒徑考慮之下;
IEST描述
針對以上的（de）兩張表格,分析如（rú）下:

1).IEST中的（de）MMD-Mass Median Diameter指的是粒子質量中徑,也（yě）就是所有的氣溶膠粒徑分布當中50%的質量大於這個值（zhí）,50%的質量小於這個值.

因此不要（yào）認為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅是針對0.3um的要求（qiú）.其實這（zhè）個規定（dìng）要（yào）求的是質量中徑在0.3um的氣溶膠群,也就是氣溶膠是單（dān）分散相或者多（duō）分散相的,是一個範圍（wéi）內（nèi）的氣溶膠群體（tǐ）,而絕不（bú）是單一粒徑（jìng）的0.3um的氣溶（róng）膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺寸中（zhōng）徑,也就是有50%的粒子大於這個（gè）值.50%的粒子小於這（zhè）個值。MMD=0.3um的顆粒們其實它們的CMD大約在0.2um.這是因為大顆（kē）粒的粒子占有的數量權重雖然小,但（dàn）是質量權重很大。因此在IEST上（shàng）麵說99.97%@0.3um其實大致等同於EN1882的MPPS的（de）顆粒直徑.這裏也僅僅是類似，不能完全（quán）等同。

3).新版的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均作（zuò）為HEPA的分類劃入高效係列（liè）,不同於以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底是（shì）多少,是需要對（duì）某（mǒu）一種濾料,比如某一種玻璃纖維（wéi）做實驗室測試的。需要至少做5次重複試驗。每次試驗均要發單[準]分散相或者多分散相的粒子,布滿整（zhěng）體的0.1-0.5um的區間。最後用（yòng）曲線做出來最低點。根據現在EN1822的統（tǒng）計,絕大部分的最易穿透的粒子粒徑（jìng）在（zài）0.1um-0.25um之間的某一個值。從（cóng）商業角度而言,氣溶膠發生器或者LASKIN噴嘴噴出的氣溶膠粒徑不可能（néng）保證為唯一粒徑粒子,從標準差而言.σ1.5為多分散。需要注意的是這（zhè）個（gè）標準差（chà）和粒徑大小沒有直接關係，也就（jiù）是計算結果（guǒ）和粒徑（jìng）沒有關係.因此嫩草影院可以認為MPPS的粒徑大小在（zài）測試的時候不是針對某（mǒu）一個粒徑的而是（shì）針對一個區（qū）間的。這（zhè）個也就是為什麽MPPS在實際現場測試的時候要求測試一個區間範圍內的（de）所有粒子數量總和;同時也要（yào）說明的（de）是（shì）不同的過濾風速下MPPS是不同的。出廠前需要明確額定濾（lǜ）速是多少.

5).對於實際的MPPS測試,一般要（yào）求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的所有粒子總數。這裏所隱含的條件是氣溶膠的發塵應該正好落在這個範圍之內,而且粒徑的（de）中值CMD應該正好等於MPPS[理想化],EN1822規定（dìng）偏差不能超過10%;

2.氣溶膠發生（shēng）器（qì）

氣溶膠發生器可以分為若幹種,如熱發塵和（hé）冷發（fā）塵,異凝結（jié）發塵和同凝結發塵,在DPMS的（de）幫助下可以保證有單分散相粒徑（jìng）發出。

壓縮空氣（qì）多分散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單分散相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分散相異凝結 1.05

自由噴射凝結式氣溶膠發生器 準單分散相自凝結 σ=1.5

氣溶膠發塵+DPMS 多分散電移過（guò）濾（lǜ）為單分散相 σ=1.1不穩定

從美國的IEST可以看出他們使用的是第一種和第二種,用光度儀測試質量濃度比（bǐ）;而歐盟采用（yòng）後麵四種進行測試，更加合理優越。不過問題在於MPPS不可能直接測量一（yī）個粒徑（jìng）值。其實是一個範圍（wéi）。很多工廠直接把0.1-0.2um之間的粒子數量（liàng）全部加起來作為MPPS的數量考慮應該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的。

根據EN1822-5的說法,如果是采用單分散相粒子在測試效率的時候（hòu）是不計量粒子分徑的。直接（jiē）把（bǎ）所（suǒ）有的粒子數量加在一起就可以作為上下遊分別的粒子（zǐ）計數了。但是這裏要注（zhù）意的是單（dān）分散相也（yě）不是真正（zhèng）的單（dān）分散相還是有各（gè）種粒徑分布的。隻要標準差小於1.5就可以（yǐ）這麽認為了。

對（duì）於多（duō）分散相就不（bú）是這麽回（huí）事了。因為標準差大於1.5，因此在進行測試的時候要求（qiú）同時測粒（lì）子粒（lì）徑分布和（hé）數量。需要（yào）注意的是在上下遊收集的時候,在MPPS已經知道的情況（kuàng）下,隻需要測量（liàng）MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的全部或者部分粒子數量即可。

舉例來說明:現在EN已經發現MPPS粒子一般坐落於0.1um-0.25um之（zhī）間。這個範（fàn）圍的最大值與最（zuì）小（xiǎo）值之比為2.5.因此在EN1822-5的要求（qiú）下（xià）,最（zuì）好取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或者部分。這是因為實際（jì）的光學粒（lì）子計數器有一個測量精度問題。大家知道的一般是測量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實際的結果是大部（bù）分廠家（jiā）或者測試方（fāng）最終的計數結果0.1um-0.2um之間的總數作為計量基礎。

根據EN1822要求,最好的測量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是規範也可以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或者在mpps*1.5-mpps*2的分段上任選一組作為劑量範圍.因此實際的測試可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種情況下進行計量。

考慮到實際的光學粒（lì）子分析儀,應該可以在其中（zhōng）三個分段裏麵任（rèn）選一個並且選擇全部的粒子或者部分的粒子。到底怎麽選根（gēn）據實際的粒子分析儀來。實際的工程結果是選擇（zé）0.1-0.2um之間的。因為大部分MPPS在0.18um的樣子,因此采用（yòng）第二（èr）種分段發可以在0.09um-0.27um之間選擇部分也就是0.1um-0.2um之間的值作為（wéi）劑量標準。

以上是對（duì）多分散粒子測試時候的分（fèn）析與說明。

3:接收方法

一般有兩種方法。

一種是用於測定質量濃度的光度計（jì）,它不能（néng）計數。因（yīn）此可以用在DOP方法測試H13和H14上麵特別（bié）是在現場的時候；

另外一種（zhǒng）是用粒（lì）子計（jì）數（shù）器或者粒徑分（fèn）析計數器,它既可以測粒徑也可（kě）以測數量。不過需要說明的是不能認為它什（shí）麽粒徑（jìng）都能測,它一般隻能分（fèn）段測粒徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家想象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑也能分析的一清二楚. 因（yīn）此實際的接收粒子MPPS是在一段粒徑之間的。上麵已經說過了。

這是因為EN1822-3對（duì）於濾料測試的（de）最低MPPS的點（diǎn）是曲線找出（chū）來的,而不是（shì）實際測出來的。規定要求測至少六種不同的粒徑,通過（guò）畫曲線的（de）方法找到最低點MPPS。這種方法隻能用（yòng）單分散相的粒子發生器來（lái）測試。因此其實找到的不是單一粒徑,而是一個區間;

並且在EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑,所以這更加說明了（le）是粒子分析隻能測試（shì）出某一（yī）段（duàn）粒徑之間而絕不是細到每一粒徑的;

4. IEST的測試（shì）方法

對於（yú）H13和H14,IEST要求對於其（qí）測試質量濃度就可以了,而對於高要求的（de）U15以（yǐ）上（shàng）要求用粒子計數器,並且直接讀（dú）取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中的更加不（bú）利的那一個數據.但是並不需要先檢測出MPPS值。

對於現場中的DOP檢測,很多公司使用TFI的冷發塵,由於其屬（shǔ）於多分散相，因此其實導致的結果就是（shì）CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大於0.3um的要求了。因此要求現場的測試質（zhì）量濃度比為99.99%@H13H14是合（hé）理的.因為這裏的結果已經比0.3um為99.99%在實驗室要（yào）求低了。

對於大部分的項目而言,還（hái）是使用H14以上的高效比較保險。

5. EN1822測試方（fāng）法

對於H10以上（shàng）的（de）就需要測試MPPS了,對於測試（shì）方法（fǎ）上麵已（yǐ）經有（yǒu）說明,總（zǒng）體而言就是測包含MPPS的一段區（qū）間粒徑的數量;

6:對（duì）測試結果的（de）分析

由於現場測試的隻能（néng）是樣本,而且不可能全部都測.因此實際（jì）的結果（guǒ）分析采（cǎi）用了泊鬆（sōng）分布的95%置信區間（jiān）的結果。

參考資（zī）料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料當（dāng）中提到了統計（jì）學相關知識（shí）,包括泊鬆分布/95%置信區間/標準差/幾何標準差