河北hepa高效過濾器

其實很多人對於高效過濾器的了解還是（shì）停留在（zài）表麵（miàn）上的，

比如隻知道潔淨室要安裝（zhuāng）初效G4+中效F5+中高效（xiào）F9+末端的（de）高效H14，但是對於高效過濾器的一些特性還是不太了解的！

比如效率為針對0.3um的粒子其濃度不低於99.97%為美國（guó）的（de）A級別高效過濾（lǜ）器,這句話的（de）詳細意（yì）思其實並沒有多少人思考！

比如MPPS方法介（jiè）紹的H14或者U15過濾器的測試粒子的尺寸是什麽？

下麵的內容則是我自己（jǐ）以（yǐ）前（qián）整理的一些筆記，針對高效過濾器的一些詳細介紹。

不太懂（dǒng）的就看（kàn）黑（hēi）體字就可以了！！！！

1.從HEPA高效過濾器效率說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器

最早的HEPA 的使用來源於美（měi）國軍方, 為（wéi）MIT相關標準。其後歐洲持續優化（huà）自身規範和標準

目前國家上通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三（sān）大標準。中國國內大部分項（xiàng）目（mù）緊跟的是EN1822標準。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆（kē）粒的（de）整體效率不低於（yú）99.97%為高效;EN1882規定隻要在（zài）MPPS的氣溶膠下通過率大於99.95%的就可以,也就是H13以上;
EN1822
從圖中可以看到如下信息:EN1882對於局部穿透率可以是整體的5倍這當然是在MPPS 的（de）粒徑考（kǎo）慮之（zhī）下;
IEST描述
針對以（yǐ）上的兩張表格,分析（xī）如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是（shì）粒子質量中徑,也就是（shì）所有的（de）氣溶膠粒徑分（fèn）布當中50%的質（zhì）量大於（yú）這個值,50%的（de）質量小於這個值.

因此不要認為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅是針對0.3um的要求.其實這個規定（dìng）要求的是質量中徑在0.3um的氣溶膠群,也就是氣溶（róng）膠是單分散（sàn）相或者多分散相的,是一個範圍內的氣溶膠群體,而絕不是單一粒徑的（de）0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是（shì）粒子尺寸中徑（jìng）,也就是有50%的粒子大（dà）於這個值.50%的粒子（zǐ）小於這個值。MMD=0.3um的顆粒們其實它們的CMD大約在0.2um.這是因（yīn）為大顆粒的粒子占有的數量權重雖然小,但是（shì）質（zhì）量（liàng）權重很大（dà）。因此在IEST上麵說99.97%@0.3um其實大致等同於EN1882的MPPS的顆粒直徑（jìng）.這裏也僅僅是類似，不能完全等同。

3).新版的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均作為HEPA的（de）分類（lèi）劃入高效係列,不（bú）同於以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底是多（duō）少,是需要對某一種濾料,比（bǐ）如某一種玻璃（lí）纖（xiān）維做實驗室（shì）測試的。需要至少做5次重複（fù）試驗。每（měi）次試驗（yàn）均要發單[準]分散相或者多分散相的粒子,布滿整體的（de）0.1-0.5um的區間。最後用（yòng）曲（qǔ）線做出來最低點。根（gēn）據（jù）現在EN1822的統計,絕大部分的最（zuì）易穿透的粒子（zǐ）粒徑在（zài）0.1um-0.25um之間的某（mǒu）一個值。從商業角度而言,氣溶膠發生器或者LASKIN噴嘴噴出的氣（qì）溶膠粒徑不可能（néng）保證為唯一粒徑粒子,從標準（zhǔn）差而言.σ1.5為多分散。需要注意的是這個標準差和粒徑大小沒有直接關係，也就是計算結果和粒徑（jìng）沒有關係.因此嫩草影院可以認為MPPS的粒徑大（dà）小在測試的時候不是針對某一個粒（lì）徑的而是針對一個區間的。這個也就是為什麽MPPS在實際現場測試的時候要求測試一個區間範圍（wéi）內的所有粒子數量（liàng）總和;同時也要說明的是不同的過濾風速下MPPS是不同的。出廠前需（xū）要明確額定濾速是多少.

5).對於實（shí）際的MPPS測試,一般要求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的所有粒（lì）子總數。這裏所隱含的條件是氣溶膠（jiāo）的發塵應該正好落在這個範（fàn）圍之內,而且粒徑的中值CMD應該正好等（děng）於（yú）MPPS[理想化],EN1822規定偏差不能超過10%;

2.氣溶膠發生（shēng）器

氣溶膠發生（shēng）器（qì）可以分為若幹種,如熱發塵和冷（lěng）發塵,異凝（níng）結發塵和同凝結發塵,在DPMS的幫助下可以保證有單分散相粒徑發出。

壓縮空氣多分散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣（qì）多分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單分散（sàn）相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分（fèn）散相異凝結（jié） 1.05

自由噴射（shè）凝結式氣溶膠發生器 準單分散相自凝結 σ=1.5

氣溶膠發塵+DPMS 多分散電移過濾（lǜ）為單分散相 σ=1.1不穩定

從美國的IEST可以看出他們使用的是第一種和第二種,用（yòng）光（guāng）度儀測試質（zhì）量濃度比;而歐盟采用後（hòu）麵四種進行測試，更加合理優越。不過問題在於MPPS不可能直接測量一個粒徑值（zhí）。其實是一個（gè）範圍（wéi）。很多（duō）工廠直接把0.1-0.2um之間的粒子數（shù）量全（quán）部加起來作為MPPS的數量考慮應該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的（de）。

根據EN1822-5的說法,如果是（shì）采用單分散相粒（lì）子在測試效率的時候是不計量粒子分徑的。直接把（bǎ）所（suǒ）有的粒子（zǐ）數量加在一起就可以作為上下遊分別的粒子（zǐ）計數了。但是這裏要注意（yì）的是單分散相也不是真正的單分散相還是有各種粒徑分布的。隻要（yào）標準差小於1.5就可以這麽認為了。

對於多分散相就不是（shì）這麽回事（shì）了。因為標準差大於（yú）1.5，因此（cǐ）在進行測試的時候要求同時測粒子粒徑（jìng）分布和數量。需要注意的是在上下遊收集的時候,在MPPS已經知道的情況下,隻需要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的全部或者部分粒（lì）子數量即可。

舉例來說明:現在EN已經發現MPPS粒子一般坐落（luò）於0.1um-0.25um之間。這個（gè）範圍的（de）最大值與最小值之（zhī）比為2.5.因此（cǐ）在（zài）EN1822-5的要求下,最好取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或者部分。這是因為實際的（de）光學粒子計數器有一個測量精度問題。大家知（zhī）道的一般（bān）是測量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以（yǐ）實際的結果（guǒ）是大部分廠家或（huò）者測試方最終的計數結果0.1um-0.2um之間的總數作為計量基礎。

根據EN1822要求（qiú）,最好（hǎo）的測量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之（zhī）間。但是規範也可以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或者在mpps*1.5-mpps*2的分段上任選一組作為劑量範圍.因此實際的測試可以在（zài）

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種情況下進行計量。

考慮（lǜ）到實際的光學粒子（zǐ）分析儀,應該可以在其中三個分段裏麵任選一個並且（qiě）選擇全部的粒子或（huò）者部（bù）分的粒子。到底怎麽選根據實際的粒子分析儀來。實際的工程結果是選擇0.1-0.2um之間（jiān）的。因為大部分MPPS在（zài）0.18um的樣子,因此采用第二種（zhǒng）分段發可以在0.09um-0.27um之間選擇部分也就是0.1um-0.2um之間的（de）值作（zuò）為劑量標準（zhǔn）。

以（yǐ）上（shàng）是對多分散粒子測試時候的（de）分（fèn）析與（yǔ）說明。

3:接收方法

一般有兩種方法。

一種是用於測定（dìng）質量濃（nóng）度的光度計,它不能計數。因此可以用（yòng）在DOP方法（fǎ）測（cè）試H13和H14上麵特別是在現場的時候；

另外一種是用粒子計數器或者粒徑分（fèn）析計數（shù）器,它（tā）既可（kě）以測粒徑也可以測數（shù）量。不過需要說明的是不能認為它（tā）什（shí）麽粒徑都能測,它（tā）一般隻能分段測粒徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家想象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑也（yě）能分析的（de）一清二楚. 因此實際的接收粒子MPPS是在一段粒徑之間的。上麵已經說過了。

這是因為EN1822-3對於濾料測試的最低MPPS的點是曲線找出來的,而（ér）不是實際測出來的。規定要求測至少六（liù）種不同的粒徑（jìng）,通過畫曲線的（de）方法找到最低點MPPS。這種方（fāng）法隻能用單分散相的（de）粒子發生器來測試。因此其實找到的不是單一粒徑,而是一個區（qū）間;

並且在EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑,所以這（zhè）更加說明了是粒子分析隻能（néng）測（cè）試出某一段粒徑之（zhī）間而絕不是細到每一粒（lì）徑的（de）;

4. IEST的測試方法

對於H13和（hé）H14,IEST要求對於其測試（shì）質（zhì）量濃度就可以了,而對於高要求的（de）U15以上（shàng）要求用粒子計數器,並且直接讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中的（de）更加（jiā）不利的那一個數據.但是（shì）並不需要先（xiān）檢（jiǎn）測出MPPS值（zhí）。

對於現場中的DOP檢測,很多公司使用TFI的冷發塵,由於其屬於多分散相（xiàng），因此其實導致的結果就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大於0.3um的要求了。因此要求現場的測試質量濃度比為99.99%@H13H14是（shì）合理的.因為（wéi）這裏的結果已經比0.3um為99.99%在實驗室要求低了（le）。

對於大部分的項目而言,還是使用H14以上的高效比（bǐ）較保險。

5. EN1822測試（shì）方法

對於H10以上的就需要測試MPPS了,對於測試方法上麵已經有說明,總體而言就（jiù）是測包含（hán）MPPS的一段區間粒徑的數量;

6:對測試結果的分析

由於現（xiàn）場測試的（de）隻能是樣本,而（ér）且（qiě）不可能全部都測.因此實際的結果（guǒ）分析采用了泊鬆分布的95%置信區間的結果。

參考資（zī）料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料當（dāng）中提到了統計學相關知識,包括（kuò）泊鬆分布/95%置信區間/標準（zhǔn）差/幾何標準差