五（wǔ）指山用塵埃粒（lì）子計數器對高（gāo）效過濾（lǜ）器檢（jiǎn）測檢漏方法

用塵（chén）埃粒子計數器對（duì）高（gāo）效過濾器檢（jiǎn）測檢漏方法及檢測（cè）檢漏標準：用大氣塵為（wéi）塵源與粒子計數器配（pèi）合，對高效過濾器作檢漏檢查。打開風機，在離高效過（guò）濾器表麵25mm處（chù）采用塵埃粒子計數器掃描檢測，掃描速度為5cm-30 cm /s，檢測出0.5μm的微粒數不得超過3500粒/m3。

塵埃粒子（zǐ）計數器高效過濾器檢漏方法：

潔淨（jìng）度級別等於或高於100級的潔淨車間的高效過濾器安裝（zhuāng）前必須（xū）作現（xiàn）場檢漏，重點是（shì）檢查過濾器有無破損漏泄等自身質量。

所有級別的潔（jié）淨（jìng）車間，都要求對其安裝好的高效過濾器作檢漏，在（zài）現行規範（fàn）沒有給出檢查（chá）數量時，可以自定一個比（bǐ）例，安裝檢漏的重（chóng）點是空氣過濾器邊框密封質量。

高效過濾器檢漏常用的儀器有:塵埃粒子計數器（qì）和5C氣溶膠發生器（qì）。

用於（yú）測量潔淨環境中單（dān）位體積空氣內的塵埃粒子大小及數目，可直接檢測潔淨度等級為十級至三十萬級的潔淨環境。體積（jī）小、重量輕、檢測精度高、功能操作簡單明了，微處理器控製，可貯存、打印測量結果，測試潔淨環境十（shí）分便利。

5C氣溶膠發生器

5C氣（qì）溶膠發生器能產生一致的多種直徑分布的氣溶（róng）膠粒子，TDA-5C氣溶膠發生器與TDA-2G或TDA-2H等氣溶膠光度計配合使用時能提供足夠的挑戰粒子去測量高效過濾係統。

潔淨室高效過濾器粒子計數器法檢漏的一（yī）般規定（dìng）

（1）被檢過濾器必（bì）須已測過風（fēng）量，在（zài）設計（jì）風速的80%～120%之間運（yùn）行。

（2）在被檢高效過濾器上風（fēng）側測定大氣塵的微粒數（shù），以大於或等於0.5ΜM微粒為準，其濃度必須大於或等於3.5×`10^4`粒（lì）/L；若檢（jiǎn）測超高效過濾器，則（zé）以大於或等於0.1ΜM微粒為（wéi）準，其濃度必須大於或等（děng）於3.5×`10^6`～3.5×`10^7`粒（lì）/L。

（3）若上風側濃度不符合上（shàng）項規定（dìng），則應引入不經過濾的空氣，如果還達不到規定（dìng），則不宜用粒子計（jì）數器（qì）法和凝（níng）結核計數器法檢漏。

（4）檢漏時將采樣口放在距離被檢過濾器表麵（miàn）2～3CM處，以5～20MM/S的速度移動，對被檢過濾器整個斷麵、封頭膠（jiāo）和安裝框架處進行掃描。