烏魯木齊hepa高效過濾器

其（qí）實很（hěn）多人對於高效過濾器的了解還是停留在表（biǎo）麵上的，

比如隻知道潔淨室要安裝（zhuāng）初效G4+中效F5+中高（gāo）效F9+末端的高效（xiào）H14，但是對於（yú）高（gāo）效過濾（lǜ）器的一些特性還是不太了解（jiě）的！

比如效率為針對0.3um的粒子其（qí）濃度不低於99.97%為美國的A級別高（gāo）效過濾（lǜ）器,這句話的詳細（xì）意思其實並沒有多少人思考（kǎo）！

比如MPPS方（fāng）法介（jiè）紹的（de）H14或者U15過濾器的測試粒子的尺（chǐ）寸是什麽？

下麵的內容則是我自己以前整理（lǐ）的一些筆記（jì），針對（duì）高效過濾器的一些詳細介紹。

不（bú）太（tài）懂的就看黑體字就可以了！！！！

1.從HEPA高效過濾器效率說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器

最早的HEPA 的使用（yòng）來源於美國軍方, 為MIT相關標準。其後歐洲持續優化自身規範（fàn）和標（biāo）準

目前國家（jiā）上通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中國國內大部分項目緊跟的是EN1822標準（zhǔn）。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆粒（lì）的整體（tǐ）效率（lǜ）不低於99.97%為高效（xiào）;EN1882規定隻要（yào）在MPPS的氣溶膠下通過率大於99.95%的就可以（yǐ）,也就是H13以上;
EN1822
從圖中可以看（kàn）到如（rú）下信息:EN1882對於局部（bù）穿透率可以是整體的（de）5倍這當然是在MPPS 的粒徑考慮之下;
IEST描述
針對以上的兩（liǎng）張表格,分析如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是粒（lì）子質量中徑,也就（jiù）是所有的氣溶膠粒徑（jìng）分布當中50%的質（zhì）量（liàng）大於這個值,50%的質量小於這個值.

因此不要認為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅是針對0.3um的要求.其實這個規定要求（qiú）的是質量中徑在0.3um的氣溶膠群,也就是氣溶膠是單分散相或者多分散相的,是一個範圍內的氣溶膠群體,而絕不是單一粒（lì）徑的（de）0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺寸中（zhōng）徑,也就是有50%的粒子大於這個（gè）值.50%的粒子小（xiǎo）於這個值。MMD=0.3um的顆粒們（men）其實它們的CMD大約在0.2um.這是因（yīn）為大顆粒（lì）的粒子占有（yǒu）的數（shù）量權重雖然小,但是質量權重很大。因此在IEST上麵說99.97%@0.3um其實大致等同於EN1882的MPPS的顆粒直徑.這裏也（yě）僅僅（jǐn）是類（lèi）似，不能（néng）完（wán）全等同。

3).新版的EN1822-2009把以前的（de）E10 E11 E12均作為HEPA的分類劃入（rù）高效係列,不同於以（yǐ）前的EN1822-2000;

4).MPPS到底（dǐ）是多少,是需要對某一種濾料,比如某一種玻璃纖（xiān）維做實驗（yàn）室測試（shì）的（de）。需要至（zhì）少（shǎo）做5次重複試驗。每次試驗均要發單[準]分散相或（huò）者多分散相的粒子,布滿整體（tǐ）的0.1-0.5um的區間。最後用曲線做（zuò）出來最低點。根據現（xiàn）在EN1822的統計（jì）,絕大部（bù）分的最易穿透的（de）粒子粒徑在0.1um-0.25um之間的某一個值。從商（shāng）業角度而言,氣溶膠發生器或者LASKIN噴嘴噴出的氣溶膠粒徑不可能保證為唯一粒徑粒子,從標準差而言.σ1.5為多分（fèn）散。需要注意的是這個標準差和粒徑（jìng）大小沒有直接關係，也就是計算結果和粒徑沒有關係.因此嫩草影院可以認為MPPS的粒徑大小在測試的時候不是針對某一（yī）個粒徑的而是針對一（yī）個區間的。這個也（yě）就是為什麽MPPS在實際現場（chǎng）測試的時候要求測試一個區間範圍內的所有粒子數量總和;同時也要說明的是不同的過濾風速下MPPS是不（bú）同（tóng）的。出廠前需要明確額定濾速是多少.

5).對於實際的MPPS測試,一般要求收集（jí）MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍（wéi）之內的所有粒子總數。這裏所隱含的（de）條件是氣溶膠的發塵應該正好落在這個範圍之（zhī）內,而且粒徑的中（zhōng）值CMD應該正好等於MPPS[理想化],EN1822規定偏差不能超過10%;

2.氣溶膠發生器

氣溶（róng）膠發生器可以分為若幹種,如熱發塵和冷發塵,異凝結發塵（chén）和同凝結（jié）發（fā）塵,在DPMS的（de）幫助下可以保證有單分散相粒徑（jìng）發（fā）出。

壓縮空氣多分散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多（duō）分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單（dān）分散相異凝（níng）結 1.05

Rapaport-Weinstork 發（fā）生（shēng）器 單分散相異凝結 1.05

自由噴射凝結式氣溶膠發生器 準單分散相自凝結 σ=1.5

氣溶膠發塵+DPMS 多分散電移過濾為單分散相（xiàng） σ=1.1不穩定

從美國的IEST可以看出他們使用的是第一種和第（dì）二種,用光度儀測試質量濃度（dù）比;而歐盟采用後麵四種進行測試，更（gèng）加合理（lǐ）優越。不（bú）過問題在於MPPS不（bú）可能（néng）直接測量一個粒徑值。其實是一個範圍（wéi）。很多（duō）工廠直接把0.1-0.2um之間的（de）粒子（zǐ）數量全部加起來作為MPPS的數量考慮（lǜ）應該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範（fàn）圍的。

根據EN1822-5的說法,如果是采用單分散相粒子（zǐ）在測試效率的時候是不計（jì）量粒子分徑的。直接把所有的粒子數量加（jiā）在一起就可以作為上下遊分（fèn）別的粒子計（jì）數了。但是這裏要注意的是單分散相也不是真正（zhèng）的單分散相還是有各種粒徑（jìng）分布的。隻要標準差小於1.5就可以這麽（me）認（rèn）為了。

對於（yú）多分散相就不是這麽回事了。因為標（biāo）準差（chà）大於（yú）1.5，因此在進行測試的時候（hòu）要求同時測粒子粒徑分布和數量。需要注意的是在上下遊收集的時候,在MPPS已經知道的情況下,隻需要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的全部或者部分粒子數量即可。

舉（jǔ）例來說明:現在EN已經發現MPPS粒（lì）子一般坐（zuò）落於0.1um-0.25um之間。這個範圍的最（zuì）大值與最小值之比為2.5.因此在EN1822-5的要求下,最好取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或者部分。這是因為實際的光學粒子計數（shù）器有一個測量精度問題（tí）。大家知道的一般是測（cè）量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以（yǐ）實（shí）際的結果是大部分廠家或者測（cè）試方最終的計數結果0.1um-0.2um之間的總數作為計量基礎。

根據EN1822要求,最好的測量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但（dàn）是（shì）規範也（yě）可以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或者在mpps*1.5-mpps*2的分段上任選一組作為劑量範圍.因此實際的測試（shì）可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種情況下進行計量。

考慮到實際的光學粒子分析儀,應該可以在其中三個分段裏麵任選一個（gè）並且選（xuǎn）擇全（quán）部的粒子或者部分（fèn）的粒（lì）子。到底怎（zěn）麽選根（gēn）據實際的（de）粒子分析儀來。實際的工程結果是選擇0.1-0.2um之間的。因為大部（bù）分MPPS在0.18um的樣子,因此采用第二種分段發可以在0.09um-0.27um之間選擇部分也就是0.1um-0.2um之間的值作為劑量標準。

以上是對多分散粒子測試時候的分析與說明。

3:接收方法（fǎ）

一般有兩種方法。

一種是用於測定（dìng）質量（liàng）濃度的光度計,它不能計（jì）數。因此可以用在DOP方法測（cè）試（shì）H13和（hé）H14上（shàng）麵特別是在現場的時候；

另外一種是用粒（lì）子（zǐ）計（jì）數器或者粒徑（jìng）分析計數器,它既可以測粒徑也可（kě）以測數量。不過需要說明的是不能認為它什麽粒徑都能測,它一般隻能分段測粒徑。比（bǐ）如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家想象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這（zhè）樣的粒徑也能分析的一清（qīng）二楚. 因此實（shí）際的接收粒子MPPS是在一段粒徑之間的（de）。上麵已經說過了。

這是因為EN1822-3對於濾料測試的最低（dī）MPPS的點（diǎn）是曲線找出來（lái）的,而不是實際測出來的（de）。規定要（yào）求測至少六（liù）種不同的粒徑,通過畫曲線的方法找到最低點MPPS。這種方法隻能用單分散相（xiàng）的（de）粒（lì）子發生器來測（cè）試。因此其實（shí）找到的不是單一粒徑,而是一個區（qū）間;

並且在（zài）EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要求了（le）MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑,所以這更加說明了（le）是粒子分析隻能測試出某一段粒徑（jìng）之間而（ér）絕不是（shì）細到每一粒徑的;

4. IEST的測試方法

對於H13和（hé）H14,IEST要求對於其測試質量濃度就可以了（le）,而對於高要求（qiú）的U15以上要求用粒子計數器（qì）,並且直接（jiē）讀取（qǔ）0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中的更加不利的那一個數據.但是並不需要先檢測出MPPS值。

對於現場中的DOP檢測,很（hěn）多公司使用TFI的冷發塵,由於其屬於多分散相，因此（cǐ）其實導致的結（jié）果就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大於0.3um的要求了。因此要求現場的測（cè）試質量濃度（dù）比為99.99%@H13H14是合理的（de）.因為這裏的結果已經比0.3um為99.99%在實驗（yàn）室要求（qiú）低了。

對於大部分的項目而言（yán）,還是使用H14以上的（de）高效（xiào）比較保險。

5. EN1822測試方法

對於H10以（yǐ）上的就需要測試MPPS了,對於測（cè）試方法上麵已（yǐ）經有說明,總體而言就是測包含MPPS的一（yī）段區間粒徑的數量;

6:對測試結果（guǒ）的分析

由於現場測試的隻能是樣本,而且不可能全部都測.因此實際的結果分析采用了泊鬆分（fèn）布的95%置（zhì）信（xìn）區間的（de）結果。

參考（kǎo）資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在（zài）資料當中提（tí）到了統計學相關知識,包括泊鬆分布/95%置信區間/標準差/幾何標準差