慶陽hepa高效過濾器

其實很多人對於高效過濾器的了解還是停留在（zài）表麵上的，

比如（rú）隻知道潔淨室要安裝初效G4+中效F5+中（zhōng）高（gāo）效F9+末端的高效H14，但是對於（yú）高效過濾器的一些特性還（hái）是不（bú）太了解的！

比如效率為針對0.3um的粒子其濃度（dù）不低於（yú）99.97%為美國的A級別高（gāo）效過濾器,這句話（huà）的詳細意思其實並沒有多（duō）少人思考！

比如MPPS方法介紹的H14或者（zhě）U15過濾器的測試粒子的尺寸是什麽？

下麵的內容則是我自己以（yǐ）前整理（lǐ）的一些筆記，針對高效過（guò）濾器的一些詳細介紹。

不太懂的就看黑體（tǐ）字就可以了！！！！

1.從HEPA高效過濾器效率說起（qǐ）

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器

最（zuì）早的HEPA 的使用來源於美國軍方, 為MIT相關標準。其後歐（ōu）洲持續優化自身規範（fàn）和標準

目（mù）前國家上通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三（sān）大標準。中國（guó）國內大（dà）部分項目緊跟的是（shì）EN1822標準。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆粒的整體效率不低於99.97%為（wéi）高效;EN1882規定隻要在MPPS的氣溶膠（jiāo）下通過率大（dà）於99.95%的就可以,也就是H13以上;
EN1822
從圖中可以看到如下信息:EN1882對於局部穿透率可以是整體的5倍這（zhè）當然是在MPPS 的（de）粒徑考慮之下;
IEST描述
針對以（yǐ）上的兩張（zhāng）表格,分析如下（xià）:

1).IEST中（zhōng）的MMD-Mass Median Diameter指的是粒子質量中徑,也就是所有的氣溶膠粒徑分（fèn）布當中50%的質量大於這個（gè）值,50%的質量小於這個值.

因此不要認為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅（jǐn）僅是（shì）針對0.3um的要求.其實這個規定要求的是質（zhì）量中徑在（zài）0.3um的氣溶膠群,也就是氣溶膠（jiāo）是單（dān）分散相或（huò）者多分散相的,是一個範圍（wéi）內的氣溶膠群體（tǐ）,而（ér）絕不是單一粒徑的0.3um的氣溶（róng）膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺寸（cùn）中徑,也就是有50%的粒子大於這個值.50%的粒子小於這個值。MMD=0.3um的顆粒們其實它們的CMD大約在（zài）0.2um.這是因為大顆粒（lì）的粒子占有的數量權重雖然小,但是質量權重很大。因此在IEST上麵說99.97%@0.3um其（qí）實大致等同於EN1882的MPPS的顆粒直徑.這裏也僅僅是類似，不能完全等（děng）同。

3).新版的（de）EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均作為HEPA的分類劃入高效係列,不同於以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底是多少,是需要（yào）對某一種（zhǒng）濾料,比如某一種玻璃（lí）纖維做實驗室測試的。需要至少做5次重複試驗。每次試驗均要發（fā）單[準]分散相或者多分散相的粒子,布滿整體的0.1-0.5um的（de）區（qū）間。最（zuì）後用曲線做出來最低點。根據現（xiàn）在EN1822的統計,絕大部分的最易穿透的粒（lì）子粒徑在0.1um-0.25um之間的某一個值。從商業角度而言,氣溶膠發生器（qì）或者LASKIN噴嘴噴出的氣溶膠粒徑不可能保證為唯一粒徑粒子,從標（biāo）準差而言（yán）.σ1.5為多分散。需要注意的是這個標準差和粒徑大小沒有（yǒu）直接關係，也就是計（jì）算結果和粒徑沒有關係.因此我（wǒ）們可以認為MPPS的粒徑大小在（zài）測試的時候不是針對某一個粒徑的而是針對一個區間的。這個也就是為什麽MPPS在實際現場測試的時候要求測試一個區間範圍內的所有（yǒu）粒子數量總和;同時也要說明的是不同的（de）過濾風速下MPPS是不（bú）同的。出廠前需要明（míng）確額（é）定濾速是多少.

5).對於實（shí）際的MPPS測試,一般要求（qiú）收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍（wéi）之（zhī）內的所有（yǒu）粒子總數。這裏所隱含的條件是氣溶膠的發塵應該正好落在這個範圍之內（nèi）,而且粒（lì）徑的中值CMD應該正好等於MPPS[理想化],EN1822規定偏（piān）差不能超（chāo）過10%;

2.氣（qì）溶膠發生器

氣溶膠發生器可（kě）以分為若幹種,如熱（rè）發塵和冷發塵,異凝結發塵和同凝結（jié）發塵,在（zài）DPMS的幫助下可以保證有（yǒu）單分散（sàn）相粒徑發出。

壓（yā）縮空氣多分散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散冷（lěng）發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發（fā）生器 單分散（sàn）相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發（fā）生器 單分散相（xiàng）異凝結 1.05

自由噴射（shè）凝結式氣溶膠發生器 準單分散相自凝結 σ=1.5

氣溶膠（jiāo）發塵+DPMS 多分（fèn）散電移過濾為單分散相 σ=1.1不穩定

從美國（guó）的IEST可以看出他們使用的是第一種和第二種,用光度儀測試質量濃度比;而（ér）歐盟采用後麵四種進行測試，更加（jiā）合理優越。不過問題在於MPPS不可能直接測量一個（gè）粒徑值。其實是一個範圍。很多工廠直（zhí）接（jiē）把0.1-0.2um之間的粒子數量（liàng）全（quán）部加起來作為MPPS的數量考慮應該是符合（hé）MPPS/1.5—MPPS*1.5這個（gè）範圍的。

根據（jù）EN1822-5的說法（fǎ）,如果是采用單分散相粒子在測試效率（lǜ）的時候是不計量粒子分徑的。直接（jiē）把所有的粒子數（shù）量加（jiā）在一起就可以作為上下遊分別的粒子計數了。但是這裏要注意的是單分散相也不是真正的單分（fèn）散相（xiàng）還是（shì）有各種粒徑分布的。隻要標準差小於1.5就可以這麽認為了。

對於多分散相就不是這麽回（huí）事了。因為標準差大於1.5，因此在進行測試的時候要求（qiú）同時測粒子粒徑分布和數量。需要注意的是在上下遊收集的時候（hòu）,在MPPS已經知道（dào）的情況下,隻需要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的全部或者（zhě）部分粒子數量即可。

舉例來說明:現在EN已經發現（xiàn）MPPS粒子一般（bān）坐落於0.1um-0.25um之間。這（zhè）個範圍的最大值與（yǔ）最小值之比為2.5.因此在EN1822-5的要（yào）求下,最好取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或者部分。這是因為實際的光學粒子計數器有一個測量精度（dù）問題。大家知道的一般是測量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實際的結（jié）果是（shì）大部分廠家或者測試方最（zuì）終的計數結果0.1um-0.2um之間的總數作為計量基礎。

根據EN1822要求,最好的測量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間（jiān）。但是規範也可以（yǐ）要求在（zài）mpps/2-mpps/1.5之間或者在mpps*1.5-mpps*2的分段上任選一組作（zuò）為劑量範圍.因此實際的測試可（kě）以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這（zhè）三種情況下進行計量。

考慮到實際的光（guāng）學粒子分析儀,應（yīng）該可以在其中三個分段裏麵任選一個（gè）並且選擇全部的粒子或者部分的粒子。到底怎麽選（xuǎn）根據實際的粒子分析儀來。實際的工程結果（guǒ）是選擇0.1-0.2um之（zhī）間的（de）。因為大部分MPPS在0.18um的（de）樣子,因此（cǐ）采用第二種分段發可以在0.09um-0.27um之間選擇部分也就是0.1um-0.2um之間的值作為劑量（liàng）標準。

以上是對多分散粒子測試時候（hòu）的分析與說明。

3:接收方法

一般有兩種方法。

一種是用於測定質量（liàng）濃度的光度計,它不能計數。因（yīn）此可以用在DOP方法測試H13和H14上麵特別是（shì）在（zài）現場的時候；

另外一種是用粒子計數器或（huò）者粒徑分析計（jì）數（shù）器,它既可以測粒徑也可以測（cè）數量。不過（guò）需要說（shuō）明（míng）的是不能（néng）認為它（tā）什麽粒徑都能測,它一（yī）般隻能分段測粒徑（jìng）。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家想象的什麽（me）0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑也能（néng）分析的一清二楚. 因此實（shí）際的接收粒子MPPS是在一段粒徑之（zhī）間的。上麵已經說（shuō）過了。

這是因為EN1822-3對於濾料測試的最低MPPS的點是曲（qǔ）線找出來的,而不是（shì）實際測出來的。規定要求測至少六種不同的粒徑,通過畫（huà）曲線的方法找到最低點MPPS。這種方法隻能用單分散相的粒子（zǐ）發生器來測試。因此其實（shí）找到的不是單一粒徑（jìng）,而是一個區間;

並且在EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑,所以這更加說明了是粒子分（fèn）析隻（zhī）能測試出某一段粒徑之間而絕（jué）不是細到每（měi）一粒徑的;

4. IEST的測試方法

對於H13和H14,IEST要求對於其測試質量濃度就（jiù）可以了,而（ér）對於高要求的U15以上（shàng）要求用粒子計數器,並且直接（jiē）讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中的更加不利的那一個數據.但是並不需要先檢測出（chū）MPPS值。

對於現場中的DOP檢測,很多公司使用TFI的冷（lěng）發塵,由於其屬於多分散（sàn）相，因此其實導致的結果就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大於0.3um的要求了。因此要求現場的測試質（zhì）量濃（nóng）度比為99.99%@H13H14是（shì）合理的.因為這裏的結果已經比0.3um為99.99%在實驗室要（yào）求低了。

對於大部分的項目而言（yán）,還是使用H14以上的高效比較保險。

5. EN1822測試方法

對於H10以上的（de）就需要測試MPPS了,對（duì）於測試方法上麵已經有說明,總體而言就是測包含MPPS的一段區間粒（lì）徑的數量;

6:對測試結果的分析

由於現場測試的隻能是樣本,而且（qiě）不可能全部都（dōu）測（cè）.因此實際的結果分析采用了泊鬆分布的95%置信區間的結果。

參考資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並（bìng）且在資料當中提到了統（tǒng）計學相（xiàng）關知識,包括泊鬆分布/95%置信區間/標準差/幾何標準差