青海hepa高效（xiào）過濾器

其實（shí）很（hěn）多人對（duì）於（yú）高效過濾器的了解還是停（tíng）留在表麵上的，

比如隻知道潔淨室要安（ān）裝初效G4+中效F5+中高效F9+末端的高效（xiào）H14，但是對於高效過濾器的一些特性還是不太了解的！

比（bǐ）如（rú）效率（lǜ）為針對（duì）0.3um的粒子其濃（nóng）度不低於99.97%為美國（guó）的A級別高效過濾器,這句話的詳細意思（sī）其實並沒有（yǒu）多少人思考！

比如MPPS方法介紹的H14或（huò）者U15過濾器的測試粒子的尺寸是什麽？

下麵的內容則是我自己以前整理的一些筆（bǐ）記，針對高效（xiào）過濾器的一些詳細介（jiè）紹。

不太懂（dǒng）的就看黑體（tǐ）字就可以了！！！！

1.從HEPA高效（xiào）過濾器效率說（shuō）起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器

最早的（de）HEPA 的（de）使用來源於（yú）美國軍方, 為MIT相（xiàng）關標準。其後歐洲（zhōu）持續優化自身規範（fàn）和標準

目前國家上通行（háng）的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準（zhǔn）。中國國內大部分項（xiàng）目緊跟的是EN1822標準。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆粒的整（zhěng）體效率不低於（yú）99.97%為高效;EN1882規定隻要在MPPS的氣溶膠下通過率大於99.95%的就可以,也就是H13以上;
EN1822
從圖中可以看到如下信（xìn）息:EN1882對於局部穿透率可以是整體的5倍這當然是在MPPS 的粒徑考慮之下;
IEST描述
針對以（yǐ）上的兩張表格,分析如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是粒子質量中徑（jìng）,也就是所有的氣溶（róng）膠粒徑分布當中50%的（de）質量大於這個值（zhí）,50%的質量小於這個值.

因此不要認為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅是（shì）針對0.3um的（de）要求.其實這（zhè）個規定（dìng）要求的是質量中徑在0.3um的氣溶膠群,也就是氣溶膠是單分散相或者多分散相的,是一（yī）個範圍內的氣（qì）溶膠群體,而絕不（bú）是單一粒（lì）徑的0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺寸中徑,也就是有（yǒu）50%的粒（lì）子大於（yú）這個（gè）值.50%的粒子小於這個值。MMD=0.3um的顆粒們其實它們的CMD大約在0.2um.這是因為大顆粒的（de）粒子占（zhàn）有的數量權重雖然小,但是質量權重很大。因此在IEST上麵說（shuō）99.97%@0.3um其實大致等同於EN1882的MPPS的顆（kē）粒直徑（jìng）.這裏也僅僅（jǐn）是類似，不能完全等同。

3).新版的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均作為HEPA的分類劃入高效係列,不同於以前（qián）的（de）EN1822-2000;

4).MPPS到底是多少,是需要對（duì）某一種濾料,比如某（mǒu）一種玻璃纖維做（zuò）實驗室測試的（de）。需要至少做5次重複試驗。每次試驗均要發單[準]分散相或者多分散相（xiàng）的粒子,布滿整體的0.1-0.5um的區間。最後用曲線做出來（lái）最低點。根據現在EN1822的統計,絕大部分的最易穿透的粒子粒徑在0.1um-0.25um之間的某一個值（zhí）。從商業（yè）角度而言,氣溶膠發生器或者LASKIN噴嘴噴出（chū）的氣溶膠粒徑不可能保證為唯一粒（lì）徑粒子,從標準差而言.σ1.5為多分散。需要（yào）注意的是這個標準（zhǔn）差和粒徑大小沒有直接關係，也就是計算結果和粒徑沒有關係.因此嫩草影院可以認為MPPS的粒徑大小在測試的時候（hòu）不是針（zhēn）對某一個粒徑的而是針對一個區間的。這個也就是為什麽MPPS在實際現場測試的時候要求（qiú）測試一個區（qū）間（jiān）範圍內的所有粒子數（shù）量總和;同時也要說明的是不同的過濾風速下MPPS是不同的。出廠前需要明確（què）額定濾速是（shì）多少.

5).對於（yú）實際的MPPS測試（shì）,一般要求收（shōu）集（jí）MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍（wéi）之（zhī）內的所有粒子（zǐ）總數。這裏所隱含的條件是氣溶膠（jiāo）的發塵應（yīng）該正好落在這個範圍（wéi）之內,而且粒徑的中值CMD應該正好等於MPPS[理（lǐ）想化],EN1822規定偏差不能超過10%;

2.氣溶膠發生器

氣溶膠發生器（qì）可以分為若幹種（zhǒng）,如熱（rè）發塵和冷發塵（chén）,異凝結發塵和同凝結發塵,在DPMS的幫助下可以保證有單（dān）分散相粒徑發出。

壓縮空氣多分散熱（rè）發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單分散相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器（qì） 單分（fèn）散相異凝結 1.05

自由噴射凝結式氣溶膠發生器（qì） 準單分散相自凝結 σ=1.5

氣溶膠發塵+DPMS 多分散電移（yí）過濾為單（dān）分散相 σ=1.1不穩定

從美國的IEST可以看出他們使用的是第一種和第二種,用光度儀測試（shì）質量濃度比;而歐盟采用（yòng）後麵四種進行測試，更加合理優越。不過問題在於MPPS不可能直接測量一個粒徑值。其（qí）實是（shì）一個範圍。很多工廠直接把（bǎ）0.1-0.2um之（zhī）間的粒子數量（liàng）全部加起來作為MPPS的數量考（kǎo）慮應該（gāi）是（shì）符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的。

根據EN1822-5的說法,如果（guǒ）是采用單分散相（xiàng）粒子在測（cè）試效率的時候是不計量粒子分徑的。直接把所有（yǒu）的粒子數量加在一起就可以作為上（shàng）下遊分別的粒子計（jì）數了。但是這裏要注意的是單分散相也不是真正的單（dān）分散相（xiàng）還是有各種粒徑分布的。隻要標準差小於（yú）1.5就（jiù）可以這麽認為了。

對於多分散相就不是這麽回事了。因為標（biāo）準差大於1.5，因此在進行測試的時候（hòu）要（yào）求同時測粒子粒徑分布和數量。需要注意的是在上下遊（yóu）收集的時候（hòu）,在MPPS已經知道（dào）的情（qíng）況下（xià）,隻需要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏（lǐ）麵的全部或者部分粒子數量即可（kě）。

舉例來說（shuō）明:現在EN已經發現MPPS粒子一般坐落於0.1um-0.25um之間（jiān）。這個範圍的最大值與最小值之比為2.5.因此在EN1822-5的要求下,最好取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍（wéi）或者部分。這是因為（wéi）實際（jì）的光學粒子計數器有（yǒu）一（yī）個（gè）測量精度問題。大家知道的一般（bān）是測量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以（yǐ）實際的結果是大部分廠家或者測（cè）試方最終的計數結果0.1um-0.2um之（zhī）間的總數作為計量基礎。

根據EN1822要求,最好的測量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是規（guī）範也可以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或者在mpps*1.5-mpps*2的分段上任選一（yī）組作為劑量範圍.因此實際（jì）的測（cè）試（shì）可以（yǐ）在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種情況下進行計量。

考（kǎo）慮到實際的光學粒子分（fèn）析（xī）儀,應該可以在其中（zhōng）三個分（fèn）段裏麵任選一個並且選擇全部的粒子或者部分的粒子。到底怎麽選根據（jù）實際的（de）粒子分析儀來（lái）。實際的工程結果（guǒ）是選擇0.1-0.2um之間的。因為大部分MPPS在0.18um的樣子,因此（cǐ）采用第（dì）二種分段發可以在0.09um-0.27um之間選擇部分也（yě）就是0.1um-0.2um之間的值作為劑量標準。

以上是對多分散粒子測（cè）試時候的分（fèn）析與說明。

3:接收方法

一般有（yǒu）兩種方法。

一種是用於測定質量濃度的光（guāng）度計,它不（bú）能（néng）計數。因此可以用在DOP方法測試H13和H14上麵（miàn）特別是在現（xiàn）場的時候（hòu）；

另外一種是用粒（lì）子計數器或者粒徑分析計（jì）數器,它既可以測粒徑也可以測數（shù）量。不過需要說明的（de）是（shì）不能認為它什麽（me）粒（lì）徑（jìng）都（dōu）能測,它一般隻能分段測粒徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家想象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑也（yě）能分析的一清二楚. 因（yīn）此實際的接收（shōu）粒子MPPS是在一段粒（lì）徑之間的。上麵已經說過了。

這是因為（wéi）EN1822-3對（duì）於濾料測試的最（zuì）低（dī）MPPS的點是曲線找出來的（de）,而不是實際測出來的。規定要求測至少六種不同的粒徑,通過畫曲線的方法找（zhǎo）到最低點MPPS。這種方法（fǎ）隻能用單分散相的粒子發生器來測試。因此其實找到的不是單一粒徑,而是一（yī）個（gè）區間;

並且在EN1822-4和EN1822-5裏麵已經（jīng）要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之（zhī）間（jiān）的粒徑（jìng）,所以這更加說明了是（shì）粒子分析（xī）隻能測試出某一段粒徑之間而絕不是細（xì）到每一粒徑的;

4. IEST的測試方法

對於H13和H14,IEST要求對（duì）於（yú）其測試質量（liàng）濃（nóng）度就可以了,而對（duì）於高要求的U15以上要求用粒子計數器,並且直接讀（dú）取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中的更加不利的那一個數（shù）據.但是並不需要先檢測出MPPS值。

對於現場中的DOP檢測,很多（duō）公（gōng）司使用（yòng）TFI的冷發塵,由於其（qí）屬於（yú）多分散相，因此其實導致的結果就是CMD在（zài）0.4um,MMD在0.7um,已經大於0.3um的要求了。因此要求現場的測試質量濃度比為99.99%@H13H14是合理的.因為這裏的結果已經（jīng）比0.3um為99.99%在實驗室要求低了。

對於大部（bù）分的項目而言,還是使用（yòng）H14以上的高效比較（jiào）保險。

5. EN1822測試方（fāng）法

對於H10以上的就需要測試MPPS了,對於測試方法上麵已經有說明,總體（tǐ）而言就是測包含MPPS的一段區間粒徑的數量（liàng）;

6:對測試結果的分析

由於現（xiàn）場測試的（de）隻能是樣本,而且不可能全部都測.因此（cǐ）實際的結果分析采用了泊鬆（sōng）分布的95%置信區間的結果。

參考資（zī）料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料當中提到了統計學相關知識,包括泊鬆分布/95%置信區（qū）間/標準差/幾何標準差