麗江hepa高效（xiào）過濾器（qì）

其實很（hěn）多人對於高效（xiào）過（guò）濾（lǜ）器的（de）了解還是（shì）停留在表麵上的（de），

比如隻知道潔淨室要安裝（zhuāng）初效G4+中效F5+中高效F9+末端的高效H14，但是（shì）對於高效過濾器的一些特性還是（shì）不太了解的！

比如效率為針（zhēn）對（duì）0.3um的粒（lì）子其濃度不低於99.97%為美國的A級別高（gāo）效過濾器（qì）,這句話的詳細意思其實並（bìng）沒有多少人（rén）思考！

比如MPPS方法介紹的H14或者U15過濾器的測試粒子的尺寸是什麽（me）？

下麵（miàn）的內容則是我自己以前（qián）整理（lǐ）的一些筆記，針對高效過濾器的（de）一些詳（xiáng）細介紹。

不太懂的就看（kàn）黑體字就可以（yǐ）了！！！！

1.從HEPA高效過濾器效率說起（qǐ）

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器

最（zuì）早的HEPA 的使用來源於美國軍方, 為MIT相關標準。其後歐洲持續優化自（zì）身規（guī）範和標（biāo）準

目前國家上通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中國國內大部分項目緊跟的是EN1822標準。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆粒的整體效率不低於99.97%為高效;EN1882規定隻要在MPPS的氣溶膠下通過率（lǜ）大於99.95%的就可以,也就是H13以上;
EN1822
從圖中可（kě）以看到如下信息:EN1882對（duì）於局部穿（chuān）透率可以是整體的5倍（bèi）這當然是在MPPS 的粒徑考慮之下;
IEST描述
針對以上的兩（liǎng）張表格,分析如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是粒子質量中徑,也就是所有的（de）氣溶膠粒徑分布當中50%的（de）質量大於這（zhè）個值,50%的質量小於這個值.

因此不要認為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者（zhě）@0.3um>=99.99%僅（jǐn）僅是針對0.3um的要求（qiú）.其實這個規定要求的是質量中徑在0.3um的氣溶膠群,也就（jiù）是氣溶膠是單分散相或者（zhě）多分散相的,是一個範圍內的氣（qì）溶（róng）膠群體,而絕不是單一粒徑的0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺寸中徑,也就是有50%的粒子大於這個值.50%的粒子小於這個值。MMD=0.3um的顆粒們其實它們的CMD大約在0.2um.這是因為大顆粒的粒子占有的數量權重雖（suī）然小,但是質量權重很大。因此在IEST上麵說99.97%@0.3um其實大致等同於EN1882的MPPS的顆粒直徑.這裏也僅（jǐn）僅是類似，不能完全等同。

3).新版的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均（jun1）作為HEPA的分類劃入（rù）高效係列,不同於以前的（de）EN1822-2000;

4).MPPS到底是多少,是需（xū）要對某一種（zhǒng）濾料,比如某一種玻璃纖維做實驗室測試的。需要至少做5次重（chóng）複試驗。每次（cì）試驗均要發單[準]分散相或者多分散（sàn）相（xiàng）的粒子,布滿整體的0.1-0.5um的區間。最後用曲線做出（chū）來最低點。根據現在EN1822的統計,絕大部分的最易穿透的粒子粒徑在0.1um-0.25um之間的某一個值。從商（shāng）業角度而言,氣溶膠發生器或者LASKIN噴嘴噴出的氣溶膠粒徑不可（kě）能保證為唯一粒徑粒子,從標準差而言.σ1.5為多分散。需要注意的是（shì）這個標準差和（hé）粒徑大小沒（méi）有直接（jiē）關係，也就是計算結（jié）果和（hé）粒徑沒有關係.因此嫩草影院（men）可（kě）以（yǐ）認為MPPS的粒徑大小在測試的時候不是（shì）針對某一個粒徑的（de）而是針對一個區間的。這個也（yě）就是為什麽MPPS在實（shí）際現場測試的時候要求測試一個區間範圍（wéi）內的所有粒子數量總（zǒng）和;同時也要說明的是不同的過濾風速下MPPS是不同的。出（chū）廠前需要明確額定濾速是多少.

5).對於實際的MPPS測試,一般要求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範（fàn）圍之（zhī）內的所有粒子總數。這裏所隱含的條件是（shì）氣溶膠的發塵應該（gāi）正好落在這個範（fàn）圍之內,而且粒徑的中值CMD應該正好等於MPPS[理想化],EN1822規定（dìng）偏差不能（néng）超過10%;

2.氣溶膠發生器

氣溶（róng）膠發生器可以分（fèn）為若幹種,如熱（rè）發塵和冷發塵,異凝結發（fā）塵（chén）和同凝結（jié）發塵（chén）,在DPMS的幫助下可以保證有單分散相粒徑發出。

壓縮空氣多分散熱（rè）發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空（kōng）氣多分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單分散相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分（fèn）散相異凝結 1.05

自由噴射凝結式氣溶膠發生器 準（zhǔn）單分散相自凝結 σ=1.5

氣溶膠發塵+DPMS 多分散（sàn）電移過濾為單分散相 σ=1.1不（bú）穩定

從美（měi）國的IEST可以看出他們使用的是第一（yī）種和第二種,用光度儀測試質量濃度比;而歐盟采用後麵四種進行測試，更加合理優越（yuè）。不（bú）過（guò）問題在於MPPS不可能直接（jiē）測量一個粒徑值。其（qí）實是（shì）一個（gè）範圍。很多工廠直接把0.1-0.2um之間的粒子數量全部加起來作為MPPS的數量考慮應該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的。

根據EN1822-5的說法,如果是采用（yòng）單分散相粒子在測試效率的時候是不計量粒子分徑（jìng）的。直接把所有的粒子數量加在一起就可以作為上下遊（yóu）分別的粒子計數了。但是這裏要注意的（de）是單（dān）分（fèn）散（sàn）相也不是真正的（de）單分（fèn）散相還是有各種粒徑（jìng）分布的（de）。隻要標準差小於1.5就可以這麽認為了。

對於多分散相就不是（shì）這麽回事了。因為標準差大於1.5，因此在進行測（cè）試的時候要求同時測粒子粒徑分布和數（shù）量。需要注意的是在（zài）上下遊收集的時（shí）候,在MPPS已經（jīng）知（zhī）道的情況下,隻需（xū）要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的全部或者部分粒子數量即可。

舉例來說明:現在（zài）EN已經（jīng）發（fā）現MPPS粒子一般坐落於0.1um-0.25um之間。這個範圍的最大值與最小（xiǎo）值之比為2.5.因此在EN1822-5的要求下,最好取MPPS/2-MPPS*2的全部（bù）範圍或者部分。這是因為實際的光（guāng）學粒子計數器有（yǒu）一個測量精度問題。大（dà）家知道的一般是測量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實際的結果是大部分廠家或者測試方最（zuì）終的計數結（jié）果0.1um-0.2um之間的總數作為計量基礎。

根據EN1822要求,最好的（de）測量範圍在（zài）mpps/1.5-mpps*1.5之間（jiān）。但是規範也可以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或者在mpps*1.5-mpps*2的分段上任選一組作為（wéi）劑量範圍.因此實際的（de）測試可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種情況下進行計量。

考（kǎo）慮到實際的光（guāng）學粒子分析儀,應該可以（yǐ）在其中三個分段裏麵任選一個（gè）並且選（xuǎn）擇（zé）全部的粒子或者部分（fèn）的粒子。到底怎麽選根據實（shí）際（jì）的粒子分析儀來（lái）。實際的（de）工程結果是選擇0.1-0.2um之間的。因為大部分（fèn）MPPS在（zài）0.18um的樣子,因此采用（yòng）第二種分段發可以在0.09um-0.27um之間選擇（zé）部分也就是0.1um-0.2um之間的值作為劑量標準（zhǔn）。

以上是對（duì）多分散粒子測試時候的分析（xī）與說明。

3:接收（shōu）方法

一般有兩種方（fāng）法。

一種是用於測定質量濃度的光度計,它不能計（jì）數。因此（cǐ）可（kě）以用在DOP方法測試（shì）H13和H14上（shàng）麵（miàn）特別是在現場的時候；

另外一種是用（yòng）粒子計數器或（huò）者粒徑分析計數器,它既可以測（cè）粒徑也可以測數量。不過需要說明的是不能認為（wéi）它什麽（me）粒徑都能測,它一般隻能分段測粒徑。比如（rú）0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而（ér）不是大（dà）家想象的什（shí）麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑也能（néng）分析的一（yī）清二楚. 因此實際的接收粒子MPPS是在一（yī）段粒徑之間的。上麵已經說（shuō）過（guò）了。

這是因為EN1822-3對於（yú）濾料測試的最低MPPS的（de）點是（shì）曲線找出來的,而不是實際測出（chū）來（lái）的。規定要求測至（zhì）少六種不同的粒徑,通過畫曲線的方法找到最低點MPPS。這（zhè）種方法隻能用單分散相的粒子發生器來測試。因此（cǐ）其實找到的不（bú）是單（dān）一粒徑,而是一個區間;

並且在EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒（lì）徑,所以這更加說明了是粒子分（fèn）析（xī）隻（zhī）能測試出某一（yī）段粒徑之間而絕不是細到每一粒徑的;

4. IEST的測試方法

對於H13和（hé）H14,IEST要求對於其測試質量濃（nóng）度就可以了,而對於高要求的U15以上要求用粒子計數器,並（bìng）且直接讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中的更加不利的那（nà）一個數據.但是並不需要先檢（jiǎn）測出MPPS值。

對於現場中的DOP檢測,很多公司使用TFI的冷發塵,由於其屬於多分散相，因此其實導致的結果就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大於0.3um的要求了。因此要求現場的測試質量濃度比為99.99%@H13H14是合理（lǐ）的.因為這（zhè）裏的結果已經比0.3um為（wéi）99.99%在實驗室要求低了。

對於大部分的項目而言（yán）,還是使（shǐ）用H14以上的高效比較保（bǎo）險。

5. EN1822測試方（fāng）法

對於H10以上的就需要測試MPPS了,對於測試方（fāng）法（fǎ）上麵已經有說明,總體而言就是測包含MPPS的一段區間粒徑的數量;

6:對測試結果的分析（xī）

由於現場測試的隻能是樣（yàng）本,而且不可能全部都測.因此實際的結果分析采用了泊鬆分布的95%置（zhì）信區間的結果。

參（cān）考資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料當中提到了（le）統計學相關（guān）知識,包（bāo）括泊鬆分布/95%置（zhì）信區間/標（biāo）準差/幾何標準差