金華hepa高效過濾器

其實很多人對於高效過濾器的了解還是停留在表麵上的，

比如隻知道潔淨室要安裝初效（xiào）G4+中效F5+中高效（xiào）F9+末端的高效H14，但是（shì）對於高（gāo）效過濾（lǜ）器的一些特性還是不太了解的！

比（bǐ）如（rú）效率為針（zhēn）對0.3um的粒子其濃度不低於99.97%為美國的A級別高效過濾器,這句話的詳細意思（sī）其實（shí）並沒有多少人思考！

比（bǐ）如MPPS方法介紹的H14或者U15過濾器的測試粒子的（de）尺寸是什麽？

下麵的內容則（zé）是我自己以前整理的一些筆（bǐ）記，針對高效（xiào）過濾（lǜ）器的一些詳細介（jiè）紹。

不太懂的就看黑體字就可以了！！！！

1.從HEPA高效過濾器效率說起（qǐ）

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器

最早（zǎo）的HEPA 的使用（yòng）來源於美國軍方, 為MIT相關標準。其後歐洲持（chí）續優化自身規範和標準

目（mù）前國家上通（tōng）行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中國國內大部分項目緊跟的是EN1822標準。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆粒的整（zhěng）體效率不低於99.97%為高效;EN1882規定隻要在MPPS的氣溶膠下通過率大（dà）於99.95%的就可（kě）以,也就是H13以（yǐ）上;
EN1822
從圖中可以看到（dào）如下信（xìn）息:EN1882對於局部穿透率可以是整體的5倍這當然是在MPPS 的粒徑考慮之下（xià）;
IEST描述
針對以（yǐ）上的兩張表格,分（fèn）析如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是粒子質量中徑,也就是所有的氣溶膠粒徑分布當中50%的質量（liàng）大於這個值,50%的質量小於這個值.

因此不要認為（wéi）IEST的規（guī）定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅是針對0.3um的（de）要求.其實這個規（guī）定要求的是質量（liàng）中徑在0.3um的氣溶膠群（qún）,也就是氣溶膠是單分散相或者多分散相的（de）,是一（yī）個範（fàn）圍內的氣溶膠群體,而絕（jué）不是單一粒徑的0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺寸中徑,也就是有50%的粒子大於這個值（zhí）.50%的粒子小於這個值。MMD=0.3um的顆粒們其實它們的CMD大約在0.2um.這是因（yīn）為（wéi）大顆粒（lì）的粒子占有的數量權重雖然小,但是質量權重很大。因此在（zài）IEST上麵說99.97%@0.3um其實大致等同於EN1882的MPPS的顆粒（lì）直徑.這裏也僅僅是類似，不能完全等同。

3).新版的（de）EN1822-2009把以（yǐ）前（qián）的E10 E11 E12均作為HEPA的分類劃入高效（xiào）係列,不同於以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底是多少（shǎo）,是（shì）需（xū）要對某一（yī）種濾料,比如某一種玻璃纖維做實（shí）驗室測試的。需要（yào）至（zhì）少做5次重複試驗。每次試驗均要發單[準]分散相或者多分散相的粒子,布滿整體的0.1-0.5um的區間。最後（hòu）用（yòng）曲線做出來（lái）最低點。根據現在EN1822的統計,絕大（dà）部分的最易穿（chuān）透的粒子粒徑在0.1um-0.25um之間的某一個值。從（cóng）商業（yè）角度而言,氣溶膠發生器或者LASKIN噴嘴噴出的氣溶膠粒徑不（bú）可能保證為唯一（yī）粒徑粒子,從標準差而言.σ1.5為多分（fèn）散。需要注意的是這個標準差和粒徑大小沒有直接關係，也就是計算結果（guǒ）和（hé）粒徑沒有關係（xì）.因此嫩草影院可以認為MPPS的粒徑大小在測試的時（shí）候不（bú）是針對某一個粒徑的而是針對一（yī）個區間的。這個也就（jiù）是為什麽MPPS在實際現場測試的（de）時候要求測試一（yī）個區間範圍內的所有粒子數量總和;同時也要說明的是不同的過（guò）濾風速下MPPS是不同的。出廠前需要明確額定濾速是（shì）多少.

5).對於實際的MPPS測試,一（yī）般要求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的所有粒子（zǐ）總數。這裏所隱含（hán）的條件是（shì）氣溶膠的（de）發塵應（yīng）該正好落在這個範圍之內（nèi）,而且粒徑的中值CMD應該正好（hǎo）等於MPPS[理想化],EN1822規定偏差不能超過10%;

2.氣溶膠發生器

氣溶膠發生（shēng）器可以分為若幹種,如熱發塵和冷發塵,異凝結發（fā）塵和同凝結（jié）發塵（chén）,在DPMS的幫助下可以保證有單分散相（xiàng）粒徑發出。

壓縮空氣多分散熱發（fā）塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器（qì） 單分（fèn）散相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分（fèn）散相（xiàng）異凝結 1.05

自由噴射（shè）凝結（jié）式氣溶膠發生器 準（zhǔn）單分散相自凝結 σ=1.5

氣溶膠發塵+DPMS 多分散電移過濾為單分散相 σ=1.1不穩定

從美國的IEST可以看出他們使用（yòng）的是第一種和第二種,用光（guāng）度（dù）儀測試質（zhì）量濃度比;而歐盟采用後麵四種進行測（cè）試，更加合理優越。不過（guò）問題在於MPPS不（bú）可能直接測（cè）量一個粒徑值（zhí）。其實（shí）是一個（gè）範圍。很多工廠直接把0.1-0.2um之間的粒子數量（liàng）全（quán）部加起來作為（wéi）MPPS的數量考慮應該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的。

根據EN1822-5的說法,如（rú）果是采用單分散相粒子在測試效率的時（shí）候是不計量粒子分徑的。直接把所有的粒子數量加在一起就可（kě）以作為上下遊分（fèn）別的粒子計數了。但是這裏（lǐ）要注意的是單分散相也不是真（zhēn）正的單分散相還（hái）是有各種粒（lì）徑分布的。隻要標準差小於1.5就可以這麽認（rèn）為了。

對於多分散相就不（bú）是這麽回（huí）事了。因（yīn）為（wéi）標準差大於1.5，因此（cǐ）在進行測試的時候要求（qiú）同時測粒子粒徑分布和數量。需要（yào）注意的是在（zài）上下遊收集的時候,在MPPS已經知道的情況下,隻需要測（cè）量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的全部或者部分粒（lì）子數量即可。

舉（jǔ）例來說明:現在EN已經發現MPPS粒子一般坐落於0.1um-0.25um之間。這個（gè）範圍的最大值與最小值之比（bǐ）為2.5.因此（cǐ）在EN1822-5的要求下,最（zuì）好取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或者（zhě）部分。這是因為實際的光學粒子計數器有一個測量精度問題。大家知道的一般是測量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實際的結果是大部分廠家或者測試方最終的計數結果0.1um-0.2um之間的（de）總數作（zuò）為計量基礎。

根（gēn）據EN1822要求（qiú）,最好的測量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是規範也可以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或者（zhě）在mpps*1.5-mpps*2的分（fèn）段（duàn）上任選一組作為劑量範圍.因此實際的測試可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種情況下進行計量。

考慮到實（shí）際的光（guāng）學粒（lì）子分析儀,應該可以在其中三個分段裏（lǐ）麵任選一個並（bìng）且選擇（zé）全（quán）部的粒子或者部分的粒子（zǐ）。到底怎麽選（xuǎn）根據實（shí）際的粒子分析儀來。實際的工程結果是選擇0.1-0.2um之間的。因為大部分MPPS在0.18um的樣子（zǐ）,因此采用第二種分段發可以在0.09um-0.27um之間選擇部分也就是0.1um-0.2um之（zhī）間的值作（zuò）為劑量標準。

以上是對多（duō）分散粒子測試時候的分析與說明。

3:接收方法

一般有兩種方法（fǎ）。

一種是用於測定質量濃度的光度計,它不能計數。因此可以用在DOP方法測（cè）試H13和H14上（shàng）麵特別是在現場的時候；

另外一種是用粒子計（jì）數器或者粒徑（jìng）分析計（jì）數（shù）器,它既可以測粒徑也可以測數量。不（bú）過需要說明的是不能認為它什麽粒徑都能測,它一般隻能分段測（cè）粒（lì）徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家想象（xiàng）的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的（de）粒徑也能分析（xī）的一清二楚. 因此實（shí）際的接收粒子MPPS是在一段粒徑之間的。上麵已經說過了。

這是因為EN1822-3對於濾料測試的最低MPPS的點是曲（qǔ）線找出來的,而不是實際（jì）測出來的。規定要求測至少六種不同的粒徑,通過畫曲線的方法找到最低點（diǎn）MPPS。這種方法（fǎ）隻能用單分散相的粒（lì）子發（fā）生器來測試。因此其實找到的不是單一粒徑,而是一個區間;

並且在（zài）EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要（yào）求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑,所以這更（gèng）加說明了是粒子（zǐ）分析隻能測試出（chū）某一段粒徑之間而絕不（bú）是細（xì）到每一粒徑的;

4. IEST的測試方法

對於H13和H14,IEST要求對於其（qí）測試質量濃度就可（kě）以了,而（ér）對於高要求的U15以上要求用粒（lì）子計（jì）數器,並且直接讀（dú）取（qǔ）0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中的更加不利的（de）那一個數據.但是（shì）並不（bú）需要先檢測出MPPS值。

對於現場（chǎng）中的DOP檢（jiǎn）測,很多公司（sī）使用TFI的冷發塵,由於（yú）其屬於多分散相，因此其實導致（zhì）的結果就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大於0.3um的（de）要求（qiú）了。因此要求現場的測（cè）試質量濃度比為99.99%@H13H14是合理的.因為這裏的結果已經比0.3um為（wéi）99.99%在實（shí）驗室要求低了。

對（duì）於大部分的項目而言,還是使用H14以上的高效比較保險。

5. EN1822測試方法

對於H10以上（shàng）的就需要測試MPPS了,對於測試方法（fǎ）上麵已經有說明,總體而言就是測包（bāo）含MPPS的（de）一段區間粒徑的數量;

6:對測試結果的分析

由於現場測（cè）試的隻能是樣本,而且不可能全部都測.因此實際的結果分析（xī）采用了泊鬆分布（bù）的95%置信區間的結果。

參（cān）考資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並（bìng）且在資料當中提（tí）到了統計學相關（guān）知識,包括泊鬆分布/95%置信區間/標（biāo）準差（chà）/幾何標準差