長春hepa高效過濾器

其實很多人對於高效過濾器的了解還（hái）是停留在表麵（miàn）上（shàng）的，

比（bǐ）如隻知道潔淨室要安裝初效G4+中（zhōng）效F5+中高效F9+末端的高效H14，但是對於高效過濾器的一些特性還是不太了解的！

比如效（xiào）率為針對0.3um的粒子其濃度不低於99.97%為美國的A級別高效過濾器,這句話的（de）詳細意思其（qí）實並沒有多少（shǎo）人思（sī）考！

比如MPPS方法介紹的H14或者U15過濾器的測試粒子的尺寸是什麽？

下麵的內容則是（shì）我自（zì）己以前整理的一（yī）些筆（bǐ）記，針對高效過濾器的一些詳細（xì）介紹。

不太懂的就看黑（hēi）體字就（jiù）可以了！！！！

1.從HEPA高效過濾器效率說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器

最早的HEPA 的使（shǐ）用來（lái）源於美國軍方, 為MIT相關標準。其後歐洲持續優化（huà）自（zì）身規範和標準

目（mù）前國家上通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中國國內大（dà）部分項（xiàng）目緊跟（gēn）的是EN1822標準。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆粒的整體效率不低於99.97%為高效;EN1882規定隻要在（zài）MPPS的氣溶（róng）膠下通過率大於99.95%的就可以（yǐ）,也就是H13以（yǐ）上;
EN1822
從圖中可以看到如下信息:EN1882對於局部穿透（tòu）率可以是整體的5倍這當然是在MPPS 的粒徑考慮之下;
IEST描述
針對以上（shàng）的兩張表格,分析（xī）如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是粒子質量（liàng）中徑（jìng）,也就是（shì）所有的氣（qì）溶膠粒（lì）徑分布當中50%的質量大於這個值（zhí）,50%的質量小（xiǎo）於這個值.

因此不（bú）要認為IEST的規定（dìng）@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅是針對0.3um的要求（qiú）.其實（shí）這個規定要求的是質量中徑在0.3um的氣溶膠群,也就是氣溶膠是單分散相或者多分散相的,是一個（gè）範圍內的氣溶膠群體,而絕不是單一粒徑的0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺寸中徑,也就是有（yǒu）50%的粒子（zǐ）大於這個值.50%的粒子小於這個值。MMD=0.3um的顆粒們其實它們的CMD大約在0.2um.這是因為大（dà）顆粒的（de）粒（lì）子占有的數量權重雖然小,但是質量權重很大。因此在IEST上麵說99.97%@0.3um其實大致等同於EN1882的MPPS的顆（kē）粒直徑.這裏（lǐ）也（yě）僅僅是類似，不能完（wán）全等同。

3).新版的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均作為HEPA的分類劃入高效係列,不同於以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底是（shì）多少,是需要對某一種濾料,比如某一種玻璃纖維（wéi）做（zuò）實驗室測試的。需要至少做5次（cì）重複試驗。每次試驗均要發單[準]分（fèn）散相或者（zhě）多分散相的粒子（zǐ）,布（bù）滿整體的0.1-0.5um的區間。最後用曲（qǔ）線做出來最低點。根據現在EN1822的統計,絕大部分的最易穿透的粒子粒（lì）徑在（zài）0.1um-0.25um之間（jiān）的某一個值。從商業（yè）角度而言,氣溶膠發生器或者LASKIN噴（pēn）嘴噴出的氣溶膠粒徑（jìng）不可能保證為唯一粒徑粒子,從標準差而言.σ1.5為多分散。需要注意的是這個標準差（chà）和粒徑大小沒有（yǒu）直接關係，也就是計算結（jié）果和粒徑沒有關係（xì）.因此嫩草影院可以認為MPPS的粒徑大小在測（cè）試（shì）的（de）時候不（bú）是針對某一（yī）個粒徑的而是針對一個區間的。這個也就是為什麽MPPS在實際現場測（cè）試（shì）的時候要求測試一個區（qū）間範圍內的所有粒（lì）子數量總和;同時也要說明的是不同的過濾風速下MPPS是不同的（de）。出廠前需要明確額定濾速是多少.

5).對（duì）於實際的MPPS測試,一般要求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的所有粒子總數。這裏所隱含的條件是氣溶膠的（de）發塵（chén）應該正好落在這個範圍之內（nèi）,而且粒（lì）徑（jìng）的中（zhōng）值CMD應該正好等於MPPS[理想化],EN1822規定偏（piān）差不能超過10%;

2.氣溶膠（jiāo）發生器

氣溶膠發（fā）生器可以分為若幹種（zhǒng）,如熱發塵（chén）和冷發塵,異凝結發塵和同凝結發塵（chén）,在（zài）DPMS的幫助下（xià）可以保證有單分散相粒徑發出。

壓縮空氣多分散熱發（fā）塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分（fèn）散（sàn）冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單分散相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分散相異凝結 1.05

自由噴（pēn）射凝（níng）結式氣溶膠發生器 準單分散相自凝結 σ=1.5

氣溶膠發塵+DPMS 多分散電移過濾為單分（fèn）散相 σ=1.1不穩（wěn）定

從美國的IEST可以（yǐ）看出他們使用（yòng）的是第一種和第二種,用光（guāng）度儀測試質（zhì）量濃度比;而歐盟采用後麵四種進（jìn）行（háng）測試，更加合理（lǐ）優（yōu）越。不過問題在於MPPS不可能直（zhí）接測量一個粒徑值。其實（shí）是一個範圍。很多工廠直接把0.1-0.2um之（zhī）間的粒子數量全部加起來作為MPPS的數量（liàng）考（kǎo）慮應該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這（zhè）個範圍（wéi）的。

根據EN1822-5的說法,如果是采用單分散相粒子在測試效（xiào）率的時候是不計量粒子分徑的。直接把所有的粒子數量加在一起就可以（yǐ）作為（wéi）上下（xià）遊分別的粒子計數了。但是這裏要注意的是單分散相也不是真正的單分散（sàn）相（xiàng）還是有各種粒徑分布的。隻要標準（zhǔn）差小於1.5就可以這麽認為了。

對於（yú）多分散相就不是這麽回事了。因為標準差大於1.5，因此在進行測試的時候要求同時測（cè）粒子粒徑分（fèn）布和數量。需（xū）要（yào）注意的是在（zài）上下遊收集的時候,在MPPS已經知道的情（qíng）況下,隻需要測（cè）量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的全（quán）部或者部分（fèn）粒（lì）子數量即可。

舉例來說明:現（xiàn）在EN已經發（fā）現MPPS粒子一（yī）般坐（zuò）落於0.1um-0.25um之（zhī）間。這個範圍的最（zuì）大值與最小值之比為2.5.因此在EN1822-5的要求下,最好取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或者部分。這是因為實際的光學粒子計數器有一個測量精度問題（tí）。大家知道的一般是測（cè）量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實際的結果是大部分廠家或者測試方最終的計數結果0.1um-0.2um之間的總數（shù）作為計量基礎。

根據EN1822要求,最好的測（cè）量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是規範也可以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或（huò）者在mpps*1.5-mpps*2的分段上任選一組（zǔ）作（zuò）為劑量範圍.因此實際的測試可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種情況下進行計量。

考慮到（dào）實際的（de）光學粒子分析儀,應該可以在其中三（sān）個分段裏麵任選一個並且選擇全部的粒子或者部分的粒子（zǐ）。到底怎麽選（xuǎn）根據實際的（de）粒子分析（xī）儀來。實際的工程結果是（shì）選（xuǎn）擇0.1-0.2um之（zhī）間的。因為大部分MPPS在（zài）0.18um的樣子,因此采用第（dì）二種分（fèn）段發可以（yǐ）在0.09um-0.27um之間選擇部分也就是0.1um-0.2um之間的值作為劑量標準。

以上是對多分散（sàn）粒子測試時候的分析與說明。

3:接收方（fāng）法

一般有兩種方法。

一種是（shì）用（yòng）於測定質量濃度的光度計,它不能計數。因此可以用在DOP方法測試H13和H14上麵特別是在現（xiàn）場的時候；

另外一種是用粒子計數器或者粒徑分（fèn）析計數器,它既可以（yǐ）測粒徑也（yě）可以測數量。不過需要說明的是不能認為它什麽粒（lì）徑都能測,它一般隻能分段（duàn）測粒徑。比（bǐ）如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不（bú）是大家想象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑（jìng）也能分析的一清二楚. 因此實際的接收粒子（zǐ）MPPS是在一段（duàn）粒徑之間的。上麵已（yǐ）經說過了。

這是因為EN1822-3對（duì）於濾料測試的最低MPPS的點是曲線找出來的,而不是實際測出來的。規定要求測至少六種不同的粒徑,通過畫曲線的方（fāng）法找到最低點MPPS。這種方法隻能（néng）用單分散相的（de）粒子發（fā）生器來測試。因（yīn）此（cǐ）其實找到的不是單一粒徑,而是一個區間;

並且在EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之（zhī）間的粒徑,所以這更加說明了是粒子分析隻能（néng）測試出某（mǒu）一段粒徑之（zhī）間（jiān）而絕不是細到每一粒徑的;

4. IEST的測試（shì）方法

對於H13和H14,IEST要求對於其測試質量濃度就（jiù）可以了,而對於高要（yào）求的U15以上要求用粒（lì）子計數器,並且直接讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組（zǔ）中的更加不（bú）利的那（nà）一個數據（jù）.但是並不需（xū）要先檢測（cè）出MPPS值。

對於現場中的DOP檢測,很多（duō）公司使用TFI的冷（lěng）發塵（chén）,由於其屬於多分散相，因此其實導致的結果就是（shì）CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大於（yú）0.3um的要求了。因此要求現場的測試質量濃度比為99.99%@H13H14是合理的.因為這裏的結果已經（jīng）比0.3um為99.99%在實驗室要求低了。

對於大部分的項（xiàng）目而言,還是使用H14以上的高（gāo）效比較保險。

5. EN1822測試方法

對於H10以上的（de）就需要測試MPPS了,對於測試方法（fǎ）上（shàng）麵已經有說明,總體而言就是測包含MPPS的一段區間粒徑的數量;

6:對測試（shì）結（jié）果的分析

由於現場測試的隻能是樣本,而且不可能（néng）全部都測.因此實際的結果分析采用了泊鬆分布的95%置信區間的結果（guǒ）。

參考（kǎo）資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料當中提到了統計學相關知（zhī）識,包括泊鬆分布/95%置信區間/標準差/幾何標（biāo）準差